[請益] 要用iline or gline

看板Tech_Job作者 (轉角遇到困難)時間1年前 (2022/10/21 15:55), 1年前編輯推噓7(17推 10噓 12→)
留言39則, 32人參與, 1年前最新討論串1/1
求線上專業人員（目前小弟是研究生） 小弟研究背電極 光罩 目的是：在掃描電容顯微術中，背電極的面積大小會影響得到的微分電容訊號 那現在 9mmx9mm的光罩投影到晶背上，要用g-line還是I-line？ （看了幾份文獻都沒提 到）工程師就說問指導老師，指導老師說問工程師 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 180.217.130.248 (臺灣) ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1666338908.A.2D9.html ※ 編輯: mytaiwan (180.217.130.248 臺灣), 10/21/2022 15:55:55
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10/21 15:57, 1年前 , 1F
那你不會試看看？
10/21 15:57, 1F
噓
10/21 15:58, 1年前 , 2F
當然是EUV 跟樓下拿阿斯麥採購連絡電話
10/21 15:58, 2F
推
10/21 16:08, 1年前 , 3F
太難了超出自身專業太多得問內行的
10/21 16:08, 3F
噓
10/21 16:09, 1年前 , 4F
gline 和 i line 先解釋一下是啥好嗎
10/21 16:09, 4F
推
10/21 16:13, 1年前 , 5F
自己去算解析度啊==
10/21 16:13, 5F
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10/21 16:14, 1年前 , 6F
主要看你的pattern和有什麼設備吧
10/21 16:14, 6F
推
10/21 16:14, 1年前 , 7F
看光阻吸收波段吧，不負責回答
10/21 16:14, 7F
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10/21 16:15, 1年前 , 8F
看你的光阻材料啊
10/21 16:15, 8F
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10/21 16:15, 1年前 , 9F
誰知道你線寬多少==
10/21 16:15, 9F
噓
10/21 16:17, 1年前 , 10F
436跟365你比較喜歡哪個數字?
10/21 16:17, 10F
噓
10/21 16:19, 1年前 , 11F
認真回, 理論上波長越小, 解析度越佳,但DOF會下降
10/21 16:19, 11F
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10/21 16:19, 1年前 , 12F
你還是要評估啦, 我是不太相信paper都沒寫實驗條件
10/21 16:19, 12F
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10/21 16:19, 1年前 , 13F
你也可以寄信去問通訊作者
10/21 16:19, 13F
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10/21 16:47, 1年前 , 14F
用G-line去輪班就知道了
10/21 16:47, 14F
推
10/21 16:55, 1年前 , 15F
用immersion 閉著眼睛曝光就好
10/21 16:55, 15F
推
10/21 17:12, 1年前 , 16F
答案很明顯 是gline
10/21 17:12, 16F
推
10/21 17:17, 1年前 , 17F
Line改這麼多版本了喔，趕快來下載
10/21 17:17, 17F
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10/21 17:39, 1年前 , 18F
9x9的光罩跟要用I還g有什麼關係啊？認真不懂？爽用K
10/21 17:39, 18F
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10/21 17:39, 1年前 , 19F
rF或ArFi也行吧看pattern跟光阻不是嗎？
10/21 17:39, 19F
噓
10/21 17:39, 1年前 , 20F
getline
10/21 17:39, 20F
推
10/21 17:54, 1年前 , 21F
看圖案線寬大小決定用那個
10/21 17:54, 21F
噓
10/21 18:25, 1年前 , 22F
作業自己寫啦
10/21 18:25, 22F
推
10/21 19:05, 1年前 , 23F
建議直上GTline,比較超值
10/21 19:05, 23F
推
10/21 19:09, 1年前 , 24F
問就是gline
10/21 19:09, 24F
噓
10/21 19:18, 1年前 , 25F
當然是high NA EUV
10/21 19:18, 25F
噓
10/21 20:30, 1年前 , 26F
G point
10/21 20:30, 26F
→
10/21 21:43, 1年前 , 27F
G
10/21 21:43, 27F
推
10/21 21:56, 1年前 , 28F
顯微鏡手刻即可
10/21 21:56, 28F
推
10/21 22:08, 1年前 , 29F
皆可使用
10/21 22:08, 29F
推
10/21 23:43, 1年前 , 30F
ST line 也不錯 考慮一下
10/21 23:43, 30F
推
10/22 00:18, 1年前 , 31F
gline呀
10/22 00:18, 31F
推
10/22 07:19, 1年前 , 32F
太難了 我只知道highlight
10/22 07:19, 32F
推
10/22 11:42, 1年前 , 33F
哪麼大的線寬，搭配適合的光阻都曝的出來，要先看
10/22 11:42, 33F
→
10/22 11:42, 1年前 , 34F
後續的製程需要要什麼樣的光阻吧！
10/22 11:42, 34F
推
10/22 12:31, 1年前 , 35F
Gline 就夠了，殺雞用牛刀
10/22 12:31, 35F
噓
10/22 20:39, 1年前 , 36F
手刻啊！ CD那麼大
10/22 20:39, 36F
噓
10/23 16:10, 1年前 , 37F
.…....
10/23 16:10, 37F
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10/25 12:04, 1年前 , 38F
黃光設備工程師歡迎你
10/25 12:04, 38F
推
10/25 12:58, 1年前 , 39F
9mm我都用手刻給你參考
10/25 12:58, 39F
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