Re: [新聞] 獲廠商認可!陸企成功研發5nm蝕刻機 將
以下純屬個人推測
AMEC在半導體設備上,確實挖了不少其他設備商的人,如LAM,AMAT..
也做出了不少相關的半導體設備,在蝕刻領域主要是做CCP chamber。
相較於大廠,在機台能力上還有一段明顯差距,但是有一點很重要,就是便宜。
便宜的機器確實做不了5nm,但是晶片可不是從FEOL 到BEOL都是5nm,在後段的damasce
ne trench可以是50nm,80nm的大小。用便宜的AMEC來做,也不會差別家太多。
AMEC打入GG的設備供應商,即便是最後段的passivation ETCH,吃下來就是它的layer,
就是它的商機。5nm的critical layer肯定不會是用AMEC的機器,但是5nm晶片的PASSIVAT
ION或是Top via可能是用AMEC啊。
雖然這樣要說AMEC可以做5nm蝕刻機,是吹牛吹很大,但是背後的貓膩,要看的懂。
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 61.223.113.149 (臺灣)
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※ 編輯: negohsu (61.223.113.149 臺灣), 08/09/2020 14:49:20
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雖然手機打字有點不好選,多按了一個逗點,但是從前後文來看,很難得到這個結論吧
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一般來說是fin pitch 的1/3。但是這個數字是先喊先贏的概念。
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確實,不要酸大陸怎樣
雖然吹牛吹很大,但是大陸不管智財,狂偷技術這點真的是很可怕的。
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※ 編輯: negohsu (61.223.113.149 臺灣), 08/09/2020 18:10:02
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機台穩定度看用在哪
有一些layer是怎麼跑都不會死的
就像某些先進製程,還是會有layer可以在十幾二十年前的eMax run一樣
※ 編輯: negohsu (61.223.113.149 臺灣), 08/09/2020 19:24:24
噓
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你可以酸中國媒體吹牛
但是做人不可以鴕鳥
你可以問問GG的設備,AMEC的機台是這樣用的嗎?
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這是有眉角的
買一送一,買一送二是為什麼?
先拿來做passivation不台代表它只能做passivation。
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你相不相信
我還會用MXP跟Spuer-e?
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重點是你的機台要進的了GG的FAB RUN的了GG的product
剛開始只做passivation很low?
當FAB很塞,但是AMEC很涼的時侯,你知道會發生啥事?
※ 編輯: negohsu (61.223.113.149 臺灣), 08/10/2020 07:55:43
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