[請益] 想請教蒸鍍高手！已刪文

看板Tech_Job作者 (肥宅之神)時間5年前 (2018/12/19 09:30), 5年前編輯推噓31(31推 0噓 24→)
留言55則, 38人參與, 5年前最新討論串1/1
想請教一下板上各位鍍膜高手，目前小弟遇上鍍膜的問題，一直無法解決，想請各位幫幫 忙！ 小弟使用的是蒸鍍機台，鍍一般教少層數膜層厚度又不多的時候，基本上產品沒什麼問題 ，但是如果鍍層數較多，厚度較厚的製程時候，會發生產品周圍有一層霧霧的狀況，較為 嚴重是左右兩側，上下則看狀況，所以想請教大大是否有碰過此種狀況，或者有什麼方法 可嘗試，感謝！ 抱歉，小弟沒給其他資訊是小弟的錯誤 1. 小弟是是使用基板BK7，融石英， SF11等可見光鏡片 皆會有此現象。 2. 機台使用電子槍打鍍材(坩堝)，配合離子源助鍍。 3.鍍膜材料，sio2 ta2o5 4.鍍長製程前都會pm，所以腔體算是最乾淨的狀態。 5.真空為1.5e -5pa 以上，假設100*120大約周圍方形基板，為什麼都是周圍會這樣，但是中間卻無此狀況， 大約周圍1~2mm。 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 42.73.138.8 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1545183054.A.6F6.html
推
12/19 09:37, 5年前 , 1F
機台種類 材料 產品性質都沒說 是要占卜哦
12/19 09:37, 1F
→
12/19 09:39, 5年前 , 2F
隔空抓抓
12/19 09:39, 2F
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12/19 09:40, 5年前 , 3F
該PM了 別浪費時間發文
12/19 09:40, 3F
推
12/19 09:41, 5年前 , 4F
雜質太多？的確可pm後看看
12/19 09:41, 4F
推
12/19 09:42, 5年前 , 5F
可以去問算命的
12/19 09:42, 5F
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12/19 09:43, 5年前 , 6F
霧霧的是否電性差？
12/19 09:43, 6F
推
12/19 09:51, 5年前 , 7F
E-GUN的坩鍋可以換SIZE，另外要FIB之後才會知道結構問題
12/19 09:51, 7F
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12/19 09:52, 5年前 , 8F
因為霧霧的是啥材料覆蓋也不知道3D-OM + FIB + EDX 分析
12/19 09:52, 8F
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12/19 09:53, 5年前 , 9F
從表面，結構面與材料面著手 會有答案的
12/19 09:53, 9F
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12/19 09:55, 5年前 , 10F
應該鍍電極而已
12/19 09:55, 10F
推
12/19 10:03, 5年前 , 11F
可能是真空度不夠或雜質太多 該PM了
12/19 10:03, 11F
推
12/19 10:06, 5年前 , 12F
先去FIB 切一片看 霧霧是啥鬼
12/19 10:06, 12F
推
12/19 10:14, 5年前 , 13F
另外可以PM後用同條件下第一鍋 分不同台 如果還是有異常
12/19 10:14, 13F
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12/19 10:14, 5年前 , 14F
那可以初步排除機台問題 往其他地方找
12/19 10:14, 14F
※ 編輯: hubert1234 (42.73.138.8), 12/19/2018 10:27:03 ※ 編輯: hubert1234 (42.73.138.8), 12/19/2018 10:30:41
推
12/19 10:49, 5年前 , 15F
鍍率多少 基板上機前有沒有洗過 手拿片還是治具上片
12/19 10:49, 15F
推
12/19 11:02, 5年前 , 16F
鍍厚時速率是不是有加快? 大約>10 A/s?
12/19 11:02, 16F
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12/19 11:03, 5年前 , 17F
一是鍍率太高 一是薄膜有crystalized 基板溫度太高
12/19 11:03, 17F
推
12/19 11:29, 5年前 , 18F
真空度不夠，坩鍋又那麼小，怎麼可能鍍的均勻
12/19 11:29, 18F
推
12/19 11:37, 5年前 , 19F
覺得是真空度不夠+1
12/19 11:37, 19F
推
12/19 11:42, 5年前 , 20F
換一個更猛的pump?
12/19 11:42, 20F
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12/19 12:05, 5年前 , 21F
搞不好原PO只是菜研究生，鍍的是破片。有邊緣效應霧化很正
12/19 12:05, 21F
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12/19 12:05, 5年前 , 22F
常
12/19 12:05, 22F
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12/19 12:18, 5年前 , 23F
-5 有點蝦@@ 我們沒經費的實驗室至少-6耶
12/19 12:18, 23F
推
12/19 12:30, 5年前 , 24F
反鍍
12/19 12:30, 24F
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12/19 12:40, 5年前 , 25F
-5超髒的.....要馬腔體需要大清要馬換個夠力的turbo
12/19 12:40, 25F
推
12/19 12:44, 5年前 , 26F
Spin看看
12/19 12:44, 26F
推
12/19 12:49, 5年前 , 27F
10-5Pa=10-7mbar,這樣的壓力不算高吧
12/19 12:49, 27F
推
12/19 12:54, 5年前 , 28F
Turbo pump催下去
12/19 12:54, 28F
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12/19 13:26, 5年前 , 29F
大家是不是都把bar看成torr...這真空很夠了
12/19 13:26, 29F
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12/19 13:26, 5年前 , 30F
打錯 是Pa
12/19 13:26, 30F
推
12/19 13:34, 5年前 , 31F
5X10^-7 mTor 是基本呀@@ 10^-8 是我們正常的值～所以-6
12/19 13:34, 31F
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12/19 13:34, 5年前 , 32F
bar 差不多喲
12/19 13:34, 32F
推
12/19 13:36, 5年前 , 33F
* 5x10^-7 Torr
12/19 13:36, 33F
推
12/19 14:01, 5年前 , 34F
我有遇過霧霧的情況..我的情況是因為破真空氮氣噴太快
12/19 14:01, 34F
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12/19 14:01, 5年前 , 35F
導致腔體內的其他蒸鍍材料被吹飛至樣品上，然後基板又
12/19 14:01, 35F
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12/19 14:01, 5年前 , 36F
有加熱所以也附著得很好，我打過橫截面EDX確認過
12/19 14:01, 36F
推
12/19 19:31, 5年前 , 37F
離子源導氣盤看一下 裡面沒乾淨也會噴東西
12/19 19:31, 37F
推
12/19 19:41, 5年前 , 38F
是要觀落陰喔
12/19 19:41, 38F
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12/19 20:58, 5年前 , 39F
冷卻時間不夠，太早破真空了
12/19 20:58, 39F
推
12/19 21:22, 5年前 , 40F
說觀落陰的是沒經驗吧，這方面真的是經驗累積出來的
12/19 21:22, 40F
推
12/19 21:27, 5年前 , 41F
覺得這種討論可以多一點 蠻棒的XD
12/19 21:27, 41F
推
12/19 22:08, 5年前 , 42F
冷卻時間不夠，太早破真空+1
12/19 22:08, 42F
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12/19 23:23, 5年前 , 43F
鍍厚的會 ,薄的不會 我猜是真空不夠或是鍍率突然變快沒發
12/19 23:23, 43F
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12/19 23:23, 5年前 , 44F
現
12/19 23:23, 44F
推
12/20 00:34, 5年前 , 45F
看起來跟熱累積有關系，所以鍍厚才有，鍍薄沒有。
12/20 00:34, 45F
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12/20 00:34, 5年前 , 46F
冷卻機制的問題
12/20 00:34, 46F
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12/20 03:54, 5年前 , 47F
承載玻璃的夾具長甚麼樣子啊
12/20 03:54, 47F
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12/20 03:56, 5年前 , 48F
不同蒸鍍機 掰掰
12/20 03:56, 48F
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12/20 08:06, 5年前 , 49F
載具太髒
12/20 08:06, 49F
推
12/20 13:08, 5年前 , 50F
-5.... 是要鍍什麼
12/20 13:08, 50F
推
12/20 14:13, 5年前 , 51F
離子源通什麼氣體
12/20 14:13, 51F
推
12/20 14:44, 5年前 , 52F
真空異常 pm吧
12/20 14:44, 52F
推
12/20 20:00, 5年前 , 53F
先FIB+1，然後再打個XRD分析材料
12/20 20:00, 53F
推
12/21 08:46, 5年前 , 54F
U% 天缺， 先fine tune U%
12/21 08:46, 54F
推
12/21 19:29, 5年前 , 55F
Pump在這種功耗大的情況不夠力
12/21 19:29, 55F
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