吐吐苦水......
- 一日蝕刻,終身喇賽 -
復機Particle high - 為什麼舊品上機parts NG, 更換週期要抓準!
Cost high - 這些parts真的一定要換掉嗎? 要不要再撐一下試試看
(爆了請跳回第一行)
TF 膜質飄了 - 蝕刻的選擇比怎麼tune的? 這etch完才有的issue, 很明顯就是蝕刻的問
題啊!
TF 膜厚貼上限 - 整合:這etch residue 一定是蝕刻幹的!蝕刻前aoi都正常,其他家sp
c沒out。
蝕刻:可是我ER MQC沒跑啊。
謎之音:那一定是蝕刻沒有查到自己哪裡有問題!連這都種issue查不出來怎麼搞的。
PH resist light residue -
蝕刻,又是你家吃不乾淨!
我這台的MQC U%是最golden的耶...
可是AF PH AOI 沒掃到異常啊,一定是你byproduct fallon啦!
PM cycle抓好一點好嗎!
是不是上次PM不確實?
復機認真看MQC啊,particle count明明就比上次復機多兩顆。
新產品 - 這支產品疊構etch stop地方有點凹,Via不夠直
謎之音:你這是個複合型的製程問題,欸蝕刻的tune一下。
- 搞不死我的,讓我更強壯 -
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