有關CMP的機台~

看板Tech_Job作者 (零秒出手)時間6年前 (2018/03/16 14:05), 編輯推噓6(6推 0噓 10→)
留言16則, 12人參與, 6年前最新討論串1/2 (看更多)
請問為何CMP的機台都在Fab角落或是邊邊角角的地方? 有些Fab甚至連CMP的區域都有獨立隔間, 幾乎沒見過像是T/F,Etch那種散落在Fab各區的~ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 203.66.222.12 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1521180340.A.5AB.html
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03/16 14:14, 6年前 , 1F
不懂問這個要幹嘛??? 羨慕CMP?
03/16 14:14, 1F
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03/16 14:15, 6年前 , 2F
認真回答你...CMP因為機台需要供應Slurry!
03/16 14:15, 2F
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03/16 14:16, 6年前 , 3F
總不能機台散落FAB各個區域然後要廠務拉管拉的到處都是..
03/16 14:16, 3F
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03/16 14:35, 6年前 , 4F
認真回你，太髒
03/16 14:35, 4F
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03/16 14:36, 6年前 , 5F
Residue embedded scratch 全都HL CMP就對了
03/16 14:36, 5F
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03/16 15:23, 6年前 , 6F
粉塵重啊，有無塵跟沒無塵一樣
03/16 15:23, 6F
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03/16 15:47, 6年前 , 7F
想一下CMP的用途，還有查slurry成分，應該就有底了
03/16 15:47, 7F
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03/16 15:48, 6年前 , 8F
不要害廠務啦 管跑來跑去的很麻煩唉
03/16 15:48, 8F
推
03/16 16:40, 6年前 , 9F
認真回你太髒，湯湯水水怎麼能和真空器材放一起
03/16 16:40, 9F
推
03/16 17:37, 6年前 , 10F
Emb先嗨賴TF吧
03/16 17:37, 10F
推
03/16 18:06, 6年前 , 11F
Ebara 宣稱 dry-in - dry-out, 真的這麼神嗎?
03/16 18:06, 11F
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03/16 18:27, 6年前 , 12F
很早前兩大CMP商的機台就dry in dry out
03/16 18:27, 12F
推
03/16 22:13, 6年前 , 13F
就算沒有完完全全dry out 那也是鎖在foup 裡啊 Eb
03/16 22:13, 13F
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03/16 22:13, 6年前 , 14F
ara算不錯了啦
03/16 22:13, 14F
推
03/17 03:22, 6年前 , 15F
豆豆磨來磨去……讓我想起這首廣告歌
03/17 03:22, 15F
推
03/17 21:45, 6年前 , 16F
因為CMP髒，對就是那種髒！
03/17 21:45, 16F
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文章代碼(AID): #1QgrwqMh (Tech_Job)
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