[新聞] 清大半導體學院院長林本堅稱,台積電EUV量產很久了,技術彎道超車Intel
原文標題:
清大半導體學院院長林本堅稱,台積電EUV量產很久了,技術彎道超車Intel
原文連結:
http://www.investor.com.tw/onlineNews/NewsContent.asp?articleNo=14202112270101
發布時間:
2021年12月27日 週一 下午3:21
原文內容:
記者李純君報導】前台積電研發副總,也是清大半導體研究學院院長林本堅,今日回憶,
各國際大廠在先進晶圓代工製程領域,先前的EUV聯盟,台積電沒辦法參加,改用浸潤式
(Immersion)微影技術;而發展至今,台積電已經量產EUV很久了,技術上彎道超車英特
爾。 林本堅今日出席清華大學半導體研究學院揭牌儀式,在受訪時回憶,英特爾2002年
,號召業界成立EUV LCC聯盟,包括摩托羅拉、AMD等大廠都在裡面,當時目標包括,開發
出的設備能夠優先被使用到40奈米與60奈米,這個聯盟當初設定為六家廠商,最後一個名
額被IBM搶走了。
他進一步提到,當時因為名額滿了,台積電不能參加EUV LCC聯盟,就自己想辦法,在先
進製程的開發上,先採Immersion技術,也因此,台積電其實直到近年的5奈米,才採用
EUV機台設備。
但以結果論來看,英特爾率先成立的EUV LCC聯盟,除了英特爾之外,其他5家並沒有再持
續了,而且現階段,台積電以EUV設備為主的5奈米製程已經量產很久了,領先全球半導體
廠商,但英特爾卻尚未進入EUV量產,此外,英特爾率先成立的EUV LCC聯盟,除了英特爾
之外,其他5家並沒有再持續了,以結果來看,台積電反而是領先的。
林本堅也補充,從採用微影技術,讓製程推進、晶片縮小觀點,半導體應用範圍越來越廣
,量也很大,實際上,要如何以最低的成本達到最高的效果,才是挑戰。他更提到,不一
定從EUV技術去做製程微縮著手,因為用EUV的成本很貴,划不來,但也不代表半導體技術
不需要微影,思考重點是,若有別的辦法縮小尺寸且更能降低成本,就用別的辦法。
心得/評論:
看起來林本堅大老 還是很不看好EUV
但是 GG目前也是用EUV來做
難道gg又可以開大 用duv去做?
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p幣永恆好
只是沒多少
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真的...要不是不能改內文 我就....
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