Re: [問題] 想請問一個關於SEM的問題

看板Physics作者 (奈米材料人)時間15年前 (2009/08/02 19:11), 編輯推噓0(006)
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你把SEM的成像原理跟TEM搞錯了,TEM才是繞射成像的 而且TEM的加速電壓,通常是幾百KV以上的繞射 但是SEM通常只是幾十KV的電子束,在打材料極表面 接收的是表面的二次電子跟背向散射電子當訊號 而且二次電子的能量都很低才幾十ev而以 不過最主要因該不是二次電子能量低的關析 因該是入射的電子束只能在材料幾nm區域的 厚度打出二次電子的關析 ※ 引述《bbwpj (bbwpj)》之銘言: : 通常SEM加速電壓可以讓電子物質波達到埃等級 : 可是我學長跟我說只能看到nm等級的表面結構 : SEM並沒有辦法可以看到埃等級的結構 : 我搞不懂為什麼耶@@ -- 時間很快~ 只有光速追得回 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 118.169.98.144

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在nm等級的厚度打出電子 所以看到的影像只能是nm等級的?
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08/02 23:37, , 2F
應該是因為若是加速電壓太大,電子穿透深度會太深,得到的
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影像就不再是樣品表面形貌;而加速電壓不夠小的話,又會有
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繞射極限的問題,沒辦法把電子束聚焦到很小,所以SEM的解析
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度因此受限...
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08/03 00:10, , 6F
嗯嗯 謝謝 大概了解了
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文章代碼(AID): #1ATNHcSQ (Physics)
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