[轉錄]Re: [請益] 新無塵室?
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作者: tree43 (~行~動~派~) 看板: NTUGIEOE
標題: Re: [請益] 新無塵室?
時間: Wed Feb 20 01:57:27 2008
的確有一間新的光電製程實驗室，座落在電二331
而這間無塵室的辦公室在電二334，
請有需要的同學在每週一~每週五的早上9點到中午12點可以到334詢問詳情，申請。
有問題歡迎寄信給我，謝謝。
回推文，目前網頁還在建構中。
裡面有
電子槍介電質鍍膜機
E-gun dielectric evaporator system
電子束金屬鍍膜機
E-beam metal evaporator
感應耦合電漿反應式離子蝕刻機
Metal Reactive Ion Etching
真空金屬濺鍍機
Metal Sputter System
光罩對準機
Mask Aligner
快速升溫退火爐
Rapid Thermal Annealing System
快速高溫製程處理機台
Rapid Thermal Processor
膜厚測定儀
Surface Profiler
紫外光臭氧清潔機
UV Ozone Cleaning System
兩段式小型旋轉塗佈機
Spin coater
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