[問題] Si wafer裂片 晶向判斷?!?!
各位板有大家好
最近遇到一點問題 太久沒接觸
想請教 Si Wafer 要如何從段裂面/斷裂方向
去判斷 此Si Wafer 晶向是何種?! <100> <110> <111>!?!?
還請各位指點!
謝謝~~~
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