[問題] 請問該如何改善側壁垂直度
可以請教負光阻在顯影後 線路會行成正梯型 請問有什麼方式可改善? 無特定型號光阻
因為有找多款來測試 都有這情況 ，主要希望側面可盡量垂直, 膜厚10-30um ，有那些參
數可改善 謝謝
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