[問題] optic fabrication spin coating

看板NEMS作者captdavince (走自己的路)時間9年前 (2014/11/12 22:49)推噓1(1推 0噓 4→)

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大家好小弟我目前在思考要做一個mask，沒有很多無塵室經驗想要請教一下各位我需要使用quartz的基板，或者是別的高平整的基板在上面需要microfabricate chromium pattern. 目前大概會用PR->develop->sputter後remove PR 目前我是擔心在spin coating PR的時候，會不會刮傷 quartz呢? 還是說有什麼方法可以保護鏡片的另外一面呢? 謝謝各位 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 106.185.49.39 ※ 文章網址: http://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1415803748.A.3D1.html

推

Jinuse

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Jinuse

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captdavince

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