[問題] ITO wet etching

看板NEMS作者 (bear)時間11年前 (2013/05/08 09:32), 編輯推噓1(1推 0噓 2→)
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目前在做ITO的wet etching 蝕刻液是用市售的ITO蝕刻液 成分是HCl+FeCl3 ITOfilm 300度通氧熱蒸鍍 厚度290nm 用PR當mask 浸泡五分鐘都沒有吃出什麼形狀 不曉得板友有沒有人有經驗 是哪裡有問題嗎? 會因為熱蒸鍍讓ITO氧化所以比較難吃掉嗎? 謝謝 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.115.41.168
推
05/08 15:43, , 1F
ITO蝕刻要加溫哦，我的經驗是38度蝕刻90秒能吃掉120nm
05/08 15:43, 1F
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05/08 15:45, , 2F
ITO用的是市售的0.7mm玻璃基板上鍍120nmITO
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05/09 15:35, , 3F
感謝 我試試看
05/09 15:35, 3F
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