[問題] 光阻塗佈PDMS的問題!

看板NEMS作者 (G阿傑G)時間11年前 (2013/03/25 17:02), 編輯推噓2(2推 0噓 0→)
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小弟目前研究是研究反向壓印製程。 要使用光阻塗佈在PDSM上面然後在壓印在Sapphire上面， 形成圖案化藍寶石基板，但現在光阻塗佈在PDMS上面都塗佈的不太好， 我看了一些文獻，文獻上說施打氧電漿能讓表面變成親水性， 請問:變成親水性真的能讓光阻塗佈的比較完整嗎? 還是有可能有其他因素。 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.135.97.171
推
03/25 18:41, , 1F
打完氧電漿後盡快塗佈光阻，不然等改質效果退了就沒用了
03/25 18:41, 1F
推
03/26 00:43, , 2F
打完電漿後，盡量保持表面乾淨，效用可以延長一點
03/26 00:43, 2F
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