[問題] AZ5214或負光阻

看板NEMS作者 (LAZZYER)時間12年前 (2012/04/10 14:06), 編輯推噓1(102)
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因為製程需要,需要用到負光阻作為擋層, 所以之後要去掉(容易去掉的,不是作模的),請問有沒有什麼適合的負光阻, 我有查到可以使用AZ5214作反轉烤, 但是因為時間緊迫,問了景明,沒想到要十週才能來(吐血) 想請問有沒有哪家實驗室有AZ 5214,可以跟你們買, 或是有什麼適合的負光阻可以推薦一下, 因為實驗室沒幾人有相關經驗,沒人可以問,拜託大家了 -- ╱ ̄ ̄\ ∕ ̄ ̄ ̄﹨ _MARINE_ |╳╳◥|* |◤====| ●﹀● ●︺●/ ◣ ︽ ◢ |◣/︾\◢ ▂▌◥\ ︿ /◢ /\─X-/\ :@\ ◣▂ | || ▂▂ ◢ ψyang0515 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.114.12.29

04/11 14:27, , 1F
AZ5214E是方便可當正、負光阻用
04/11 14:27, 1F

04/11 14:28, , 2F
除非你是需要負光阻邊緣的倒傾角特性
04/11 14:28, 2F

04/11 14:29, , 3F
不然lift-off還是像下篇回文說的,用正光阻做較常見
04/11 14:29, 3F
文章代碼(AID): #1FWytjq4 (NEMS)
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