感謝各位的意見，目前我算是能把PDMS很小心的撕下來了
只是又有一個問題：那麼薄的PDMS很像保鮮膜，會自己皺起來...
其實我做薄PDMS的用意之一是後續要以RIE在上面打孔
太厚的話RIE要打很久，光阻不容易擋
或是有RIE以外的方法能在PDMS上特定位置打出直徑80μm左右的孔嗎？雷射？
謝謝
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