[問題] 光阻塗佈如何抓參數？

看板NEMS作者 (炙熱之夏)時間13年前 (2011/05/11 22:30), 編輯推噓2(2推 0噓 7→)
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手上有一台spin coater與一支光阻劑，光阻劑為日本某家不知名廠商所提供，所取得 的光阻劑data並未附上轉速、時間與膜厚的關係表，想請教板上的各位若是手上拿到一 支很陌生的光阻劑大家要如何去抓轉速與時間參數？ 目前狀況是spin coater是新買的，我之前也未做過該機台相關實驗，上手更沒有任何 參數，該支光阻劑後來研究了一下，發現是主劑加上稀釋劑調和而成，在旋轉過程中 稀釋劑會揮發，因此不知道該如何是好，希望有經驗者能提供一點抓參數的訣竅、感謝！ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 114.42.92.24
推
05/11 22:48, , 1F
google或翻看看paper?
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05/11 22:48, , 2F
如果要做實驗可以先找看看確定的光阻 來驗證spin coater
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05/11 22:48, , 3F
驗證後 再來測這隻光阻劑~
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05/11 22:50, , 4F
看轉速vs膜厚、曝光時間、顯影時間
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05/11 22:50, , 5F
還有軟烤硬烤是否需要&時間約為多少較佳
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05/11 22:58, , 6F
這之光阻劑能google的資料都找過了，並無相關資料
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05/11 22:59, , 7F
至於驗證的步驟、基於某些原因無法實現 >"<
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05/11 22:59, , 8F
另外、這之光阻劑是UV curing的，不知道對於找參數有無影響
05/11 22:59, 8F
推
05/12 00:01, , 9F
coat完烤乾 破片 SEM 照一下要什麼有甚麼 !!
05/12 00:01, 9F
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