[問題] SU8用spray coater噴上去

看板NEMS作者 (qscft)時間14年前 (2011/03/25 10:50), 編輯推噓4(4推 0噓 4→)
留言8則, 4人參與, 最新討論串1/2 (看更多)
請問有人有用spray coater噴SU8 2005的經驗嗎 因為使用SU8噴上去後，平整度整個很差呈現顆粒狀 想請問有人有相關的經驗嗎 因為上網查，大多是用spin的方式 謝謝大家 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.114.23.20
推
03/25 12:41, , 1F
應該是在噴灑的過程中就凝結了...
03/25 12:41, 1F
推
03/26 01:05, , 2F
用噴的? 就算噴水也是呈現顆粒狀的吧~ 不能用旋塗的嗎?
03/26 01:05, 2F
→
03/26 01:06, , 3F
而且2005凝固的速度應該蠻快的~或許真的如1F所說也不一定
03/26 01:06, 3F
推
03/26 13:45, , 4F
以前噴過5214和4620，我想SU8只會更慘
03/26 13:45, 4F
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03/28 01:57, , 5F
謝謝各位，是老闆堅持要噴的，搞不懂他堅持啥...哀
03/28 01:57, 5F
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03/28 01:57, , 6F
用旋的結果明明比噴的好，證據拿給他看了，他還堅持...
03/28 01:57, 6F
推
03/28 11:33, , 7F
目標想噴多厚?
03/28 11:33, 7F
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03/29 02:02, , 8F
大概5um左右
03/29 02:02, 8F
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