[問題]關於MEMS製程變異度資料

看板NEMS作者SophieFluid (洋為中用)時間16年前 (2008/07/19 15:06)推噓2(2推 0噓 1→)

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最近在做一些MEMS sensor性能模擬與分析，需要下列資料： (1) silicon (crystal & poly) 線寬以及深度的uncertainty (2) silicon (crystal & poly) 的材料特性uncertainty,包含 Young's modulus, Poisson ratio, density等不知道版友們提否提供相關資訊（數據、paper或database website）感激嘍～ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 218.32.7.26

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Ice98

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Ice98

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SophieFluid

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