[問題] 請教蝕刻的問題

看板NEMS作者 (人善天不欺)時間16年前 (2008/07/16 09:42), 編輯推噓1(101)
留言2則, 2人參與, 最新討論串1/2 (看更多)
小弟現在有在glass上 沈積 TaN 跟 Cu 想請問一下 哪兩種蝕刻液 可以吃掉這兩種金屬 謝謝 ^.^ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.113.21.168

07/16 18:31, , 1F
不好意思 是 TaN 不是 TiN
07/16 18:31, 1F

07/17 20:37, , 2F
E 可以修改文章
07/17 20:37, 2F
※ 編輯: hunter2000 來自: 140.113.21.168 (07/18 09:32)
文章代碼(AID): #18VL7-aW (NEMS)
文章代碼(AID): #18VL7-aW (NEMS)