Re: [課程] 實驗可能會考的東西
※ 引述《dabird (大鳥)》之銘言：
: 2-3 CVD反應步驟
: 化學氣相沉積法(chemical vapor deposition)是一種利用載送氣體，
: 將化合物(前驅體precursor)以氣態方式傳送至一反應環境，
: 在使化合物分解，並在基板(substrate)上形成薄膜的製造方法。
: 所以整個CVD製程，可分成以下八個步驟(fig 1)。
: 1.反應物由主氣流傳輸至沉積區
: 2.主氣流中的反應物經邊界層擴散至基板表面
: 3.反應物吸附於基板表面
: 4.基板表面產生化學反應
: 5.反應生成物擴散至晶格穩定位置(kink sites)
: 6.反應副產物或吸附的反應物從基板表面脫離
: 7.經由邊界層將反應氣體產物傳輸至主氣流區
: 8.輸送反應物離開沉積層
: 因為以上八個步驟發生順序成串聯，其中最慢的步驟為速率決定步驟。
: 對了大家來接力吧...
: 把會考的整理出來^^
噗~那我寫出兩個我比較有印象的必考題
記得題目而已XD
答案有錯在請高手訂正吧~"~
要穿無塵衣的實驗
1.為何加入時顯影劑要使用二段轉速？
分別有什麼功用？
ANS：一段轉速較慢，為了使得顯影劑擴散到晶圓表面
二段轉速較快，目的是讓顯影劑擴散後的厚度均勻
2.軟烤的功用為何？
ANS：我忘了= = 高手補完吧orz
光譜量測實驗
1.校正的目的為何？
ANS：將畫素轉成波長，使用內插法轉換
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 218.162.233.25
推
01/06 16:37, , 1F
01/06 16:37, 1F
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