真空泵及有關術語
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2.1真空泵 vacuum pumps
產生、改善和（或）維持真空的裝置。基本上分為氣體傳輸泵和氣體捕集泵兩種類型。
2.1.1容積真空泵 positive displacement pump：容積真空泵是利用泵腔容積的週期變
化來完成吸氣和排氣的裝置。氣體在排出前被壓縮。這種泵分為往複式及旋轉式兩種。
2.1.1.1氣鎮真空泵 gas ballast vacuum pump：泵工作中，經氣鎮閥放入適量的非可凝
性氣體到泵的壓縮室，以降低被抽氣體中可凝性蒸汽在泵內凝結程度的容積真空泵。
4.1.1.6～4.1.1.10的容積真空泵均可裝氣鎮裝置。
2.1.1.2油封（液封）真空泵oil sealed (liquid-sealed) vacuum pump：利用油類密封
各運動部件間的間隙和減少壓縮室有害空間的旋轉容積真空泵。
2.1.1.3干封真空泵 dry-sealed vacuum pump：不用油類（或液體）密封的容積真空泵。
2.1.1.4往復真空泵 piston vacuum pump：利用泵腔內活塞往復運動，將氣體壓縮並排出
的容積真空泵。
2.1.1.5液環真空泵 liquid ring vacuum pump：帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內，當
它旋轉時，把液體（通常為水）拋向泵殼並形成與泵殼同心的液環，液環同轉子葉片形成
了容積週期變化的旋轉容積真空泵。
2.1.1.6旋片真空泵 sliding vane rotary vacuum pump：轉子偏心的裝在泵殼內並同泵
殼內表面固定面相切，在轉子內裝有二個（或二個以上）旋片，當轉子旋轉時滑片能沿其
徑向槽往復滑動且與泵殼內壁始終接觸，將泵腔分為幾個可變容積的旋轉容積真空泵。
2.1.1.7定片真空泵 rotary piston vacuum pump：在泵殼內裝有一個與泵殼內壁相接觸
的偏心轉子，泵殼上裝有一片始終與轉子表面接觸的徑向滑片，當轉子旋轉時滑片上、下
滑動將泵腔分成兩個可變容積的旋轉容積真空泵。
2.1.1.8滑閥真空泵 rotary plunger vacuum pump：在偏心轉子外有一滑閥環，轉子旋
轉時帶動滑閥環沿泵殼內壁滑動和滾動，固定在滑閥環上的滑閥桿能在裝於泵殼適當位置
可擺動的滑閥導軌中滑動，而把泵腔分成兩個可變容積的旋轉容積真空泵。
2.1.1.9余擺線真空泵 trochoidal vacuum pump：在泵殼內，偏心裝有一個余擺線型轉
子，它沿泵殼內壁滑動並將泵腔分成兩個可變容積的容積真空泵。
2.1.1.10多室旋片真空泵 multi-chamber sliding vane rotary vacuum pump：在一個
泵殼中並聯裝有由同一電動機驅動的多個獨立工作室的旋片真空泵。
2.1.1.11羅茨真空泵 roots vacuum pump：泵內裝有兩個相反方向同步旋轉的雙葉形或多
葉形轉子，轉子間，轉子同泵殼內壁保持一定的間隙的旋轉容積真空泵。
2.1.2動量傳輸泵 kinetic vacuum pump：高速旋轉的葉片或射流，把動量傳輸給氣體或
氣體分子，使氣體連續不斷的從入口傳輸到出口的真空泵。
2.1.2.1牽引分子泵molecular drag pump：氣體分子與高速轉動的轉子相碰撞而獲得動量
，被送到出口的一種動量傳輸泵。
2.1.2.2渦輪分子泵turbo molecular pump：泵內裝有帶槽的圓盤或帶葉片的轉子，它在
定子對應的圓盤間旋轉。轉子圓周的線速度和氣體分子速度是相同的量級的，泵通常在分
子流條件下工作。
2.1.2.3噴射真空泵ejector vacuum pump：利用文丘裡（venturi）效應的壓力降產生的
高速射流把氣體輸送到出中的一種動量傳輸泵。噴射真空泵適於粘滯流和過渡流條件下工
作。
2.1.2.4液體噴射真空泵liquid jet vacuum pump：以液體（通常為水）為工作介質的噴
射真空泵。
2.1.2.5氣體噴射真空泵gas jet vacuum pump：以非可凝性氣體作為工作介質的噴射真空
泵。
2.1.2.6蒸汽噴射真空泵vapor jet vacuum pump ：以蒸汽（水、油、汞等蒸汽）作為工
作介質的噴射真空泵。
2.1.2.7擴散泵diffusion pump ：以低壓高速蒸汽流（油或汞等蒸汽）作為工作介質的氣
體動量傳輸泵。氣體分子擴散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是
低的。這種泵適於分子流條件下工作。
2.1.2.8自淨化擴散泵self purifying diffusion pump：泵液中的易揮發雜質經專門的機
構輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴散泵。
2.1.2.9分餾擴散泵 fractionating diffusion pump ：這種泵具有分餾裝置，使蒸汽壓
力較低的工作液蒸汽進入高真空工作的噴嘴，而蒸汽壓力較高的工作液蒸汽進入低真空工
作的噴嘴中的一種多級油擴散泵。
2.1.2.10擴散噴射泵diffusion ejector pump ：有擴散泵特性的單級或多級噴嘴和具有
噴射泵特性的單級或多級噴嘴組成的動量傳達室輸泵。
2.1.2.11離子傳輸泵ion transfer pump：被電離的氣體在電磁場或電場的作用下，輸送
到出口的一種動量傳輸泵。
2.1.3捕集真空泵 entrapment vacuum pump：氣體分子被吸附或凝結在泵內表面上的真空
泵。
2.1.3.1吸附泵adsorption pump：主要用具有大表面的吸附劑（如多孔物質）的物理吸附
作用來抽氣的捕集真空泵。
2.1.3.2吸氣劑泵 getter pump：用吸氣劑以化學結合方式捕獲氣體的捕集真空泵。吸氣
劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。
2.1.3.3昇華（蒸發）泵 sublimation (evaporation)pump ：一種用間斷或連續方式昇
華（蒸發）吸氣材料以達到抽氣目的的捕集真空泵。
2.1.3.4吸氣劑離子泵getter ion pump：被電離的氣體通過電磁場或電場的作用吸附在有
吸氣材料的泵內表面上的捕集真空泵。
2.1.3.5蒸發離子泵 evaporation ion pump ：泵內被電離氣體傳輸到以間斷或連續方式
昇華或蒸發而覆在泵內壁的吸氣材料上而被吸附的一種吸氣離子泵。
2.1.3.6濺射離子泵sputter ion pump ：泵內電離的氣體，被吸附在由陰極連續濺散出來
的吸氣材料上的吸氣劑離子泵。
2.1.3.7低溫泵cryopump：利用低溫表面捕集氣體的真空泵。
2.2真空泵零部件
2.2.1泵殼 pump case：將低壓力氣體與大氣隔開的泵的外殼。
2.2.2入口 inlet：真空泵的吸氣口。
2.2.3出口outlet：真空泵的出口。
2.2.4旋片（滑片、滑閥）vane; blade ：在一些容積真空泵中，將泵腔分成若幹部分的
滑動零件。
2.2.5排氣閥discharge valve：在一些旋轉容積真空泵中，從壓縮室排氣的自動閥。
2.2.6氣鎮閥gas ballast valve：在氣鎮真空泵的壓縮室安裝的一種起氣鎮作用的充氣閥
。
2.2.7膨脹室expansion chamber：在一些容積真空泵泵腔內，被抽氣體進入逐漸增大的空
間。
2.2.8壓縮室compression chamber：進入容積真空泵泵腔的氣體，在排出之前被壓縮，使
其體積逐漸減小的的空間。
2.2.9真空泵油 vacuum pump oil：在油封真空泵中，用來密封、冷卻和潤滑的液體。
2.2.10泵液 pump fluid：噴射真空泵、擴散泵或擴散噴射泵的工作液。
2.2.11噴嘴 nozzle：為使噴射真空泵、擴散泵或擴散噴射泵起抽氣作用而對射流導向的
部件。
2.2.12噴嘴喉部nozzle throat：噴嘴的最小橫截面。
2.2.13噴嘴擴張率nozzle expansion rate：噴嘴出口面積和噴嘴喉部面積之比。
2.2.14噴嘴間隙面積 nozzle clearance area ：噴嘴出口外緣和泵殼之間最小橫截面
積。
2.2.15噴嘴間隙nozzle clearance：決定噴嘴間隙面積的環的寬度。
2.2.16射流jet：從噴射泵、擴散泵或擴散噴射泵噴嘴噴射出的工作介質流。
2.2.17擴散器diffuser：噴射泵壁的收縮部分、喉部及擴張部分的總和。
2.2.18擴散器喉部diffuser thoat：擴散器的最小截面部分。
2.2.19蒸汽導管vapor tube(pipe;chimney)：在蒸汽噴射泵、擴散泵或擴散噴射泵中，從
鍋爐到噴嘴的連接管。
2.2.20噴嘴組件nozzle assembly：蒸汽噴射泵、擴散泵或擴散噴射泵的噴嘴與蒸汽導管
的組裝件（一般指可拆卸部件）。
2.2.21下裙skirt：噴嘴組件下部的擴大部分。它使返回冷凝的泵液與鍋爐產生的蒸汽分
開。
2.3附件
2.3.1阱trap：用物理或化學的方法來降低氣體混合物中蒸汽壓力的裝置。
2.3.1.1冷阱 cold trap：通過冷卻表面凝結作用工作的阱。
2.3.1.2吸附阱sorption trap：以吸附方式工作的阱。
2.3.1.3離子阱ion trap：利用電離方法工作的阱。
2.3.1.4冷凍昇華阱 cryosublimation trap：用間斷方式把吸氣劑材料昇華並沉積到阱的
冷卻表面上來吸附氣體和凝結泵液蒸汽的阱。
2.3.2擋板baffle：裝在蒸汽噴射泵、擴散泵或擴散噴射泵入口，用以降低泵液返流和返
遷移的遮擋裝置（也可用冷卻方式）。
2.3.3油分離器oil separator：裝在真空泵出口處，用以減少以微滴形式被帶走的泵油的
裝置。通常用於變容真空泵中。
2.3.4油淨化器oil purifier：從泵油中清除污染物的裝置。
2.3.5冷凝器condenser：用以冷凝混合氣流中水蒸汽的裝置。
2.4泵按工作分類
2.4.1主泵main pump：在真空系統中，用來獲得所要求的真空度的真空泵。
2.4.2粗抽泵roughing vacuum pump：從大氣壓開始降低系統的壓力到另一抽氣系統開始
工作的真空泵。
2.4.3前級真空泵backing vacuum pump：用以維持另一個泵的前級壓力在其臨界前級壓力
以下的真空泵。前級泵也可以做粗抽泵使用。
2.4.4粗（低）真空泵 roughing(low)vacuum pump：從大氣開始降低容器壓力的真空泵。
2.4.5維持真空泵holding vacuum pump：在真空系統中，當氣體量很小時，不能有效的利
用主前級泵，為此，在真空系統中配置一種容量較小的輔助前級泵維持主泵正常工作或維
持已抽空容器所需之低壓的真空泵。
2.4.6高真空泵high vacuum pump：在高真空範圍工作的主真空泵。
2.4.7超高真空泵ultra-high vacuum pump：在超高真空範圍工作的真空泵。
2.4.8增壓真空泵booster vacuum pump：裝於高真空泵和前級泵之間，用來提高抽氣系統
在中間壓力範圍的抽氣量或者降低對前級泵容量要求的真空泵。
2.5真空泵特性
2.5.1真空泵的抽氣速率（體積流率）s volume flow rate of a vacuum pump：當泵裝
有標準試驗罩並按規定條件工作時，從試驗罩流過的氣體流量與在試驗罩上指定位置測得
的平衡壓力之比。簡稱泵的抽速。
2.5.2真空泵的抽氣量Q throughput of vacuum pump：流經泵入口的流量。
2.5.3起動壓力starting pressure：泵無損壞起動並有抽氣作用的壓力。
2.5.4前級壓力 backing pressure ：排氣壓力低於一個大氣壓力的真空泵的出口壓力。
2.5.5臨界前級壓力 critical backing pressure：蒸汽噴射泵或擴散泵、擴散噴射泵所
許可的最高前級壓力值，超過了此值就破壞正常工作。當前級壓力稍高於臨界前級壓力時
，還不致於引起入口壓力的顯著增加。蒸汽流泵的臨界前級壓力主要決定於抽氣量。 註
：某些泵政黨工作的破壞不會突然出現，所以臨界前級壓力不能準確指出。
2.5.6最大前級壓力maximum backing pressure：超過了能使泵損壞的前級壓力
2.5.7最大工作壓力maximum working pressure：對應最大抽氣量的入口壓力。在此壓力
下，泵能連續工作而不惡化或損壞。
2.5.8真空泵的極限壓力ultimate pressure of a pump：泵裝有標準試驗罩並按規定條件
工作，在不引入氣體正常工作情況下，趨向穩定的最低壓力。
2.5.9壓縮比compression ratio：泵對給定氣體的出口壓力與入口壓力之比。
2.5.10何氏係數Ho coefficient：蒸汽噴射泵、擴散泵或擴散噴射泵噴嘴間隙面積上的實
際抽速與該處按分子瀉流計算的理論抽速之比。
2.5.11抽速係數speed factor：蒸汽噴射泵或擴散泵的實際抽速與泵入口處按分子瀉流計
算的理論抽速之比。
2.5.12氣體的反擴散back-diffusion of gas：從真空泵出口向入口與抽氣作用相反方向
的氣體流動。
2.5.13泵液返流back-streaming of pump fluid：泵液通過泵入口（或者附屬擋板或阱）
與被抽氣體流動方向相反的流動。
2.5.14返流率back-streaming rate：泵按規定條件工作時，通過泵入口單位面積的泵液
質量流率。
2.5.15返遷移back-migration：a蒸汽噴射泵、擴散泵或擴散噴射泵的泵液分子沿表面移
動進入被抽容器。B油封真空泵的泵油分子沿表面移動進入被抽容器。
2.5.16爆騰bumping：泵液在鍋爐內由於局部過熱產生的不穩定蒸發。
2.5.17水蒸氣允許量qm water vapor tolerable load：在正常環境條件下，氣鎮泵在連
續工作時能抽除的水蒸氣質量流率。
2.5.18最大允許水蒸氣入口壓力maximum tolerable water vapor inlet pressure：在正
常環境條件下，氣鎮泵在連續工作時被抽氣體中水蒸氣的最高入口壓力。
2.5.19蒸汽噴射泵、擴散泵或擴散噴射泵的加熱時間warm-up time for a vapor jet
pump or a diffusion pump or a diffusion ejector pump：鍋爐中泵液的溫度達到它正
常工作溫度所需要的時間。起始溫度可以是環境溫度，也可以是泵安全暴露大氣的溫度。
2.5.20蒸汽噴射泵、擴散泵或擴散噴射泵的冷卻時間cool-down time for a vapor jet
pump or a diffusion pump or a diffusion ejector pump：泵停止加熱後，鍋爐中的泵
液從正常工作溫度降到可以安全暴露大氣時的溫度所需要的時間。
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