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討論串[爆卦] 中國清大EUV大突破？？！！
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Re: [爆卦] 中國清大EUV大突破？？！！
推噓45(49推 4噓 110→)留言163則，0人參與, 8月前最新作者a1e (我上了賊船了囧)時間8月前 (2023/09/16 19:49), 8月前編輯資訊
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大陸清大那個團隊不是第一個想到這玩法的. 這想法很久以前就有人想過. 例如國科會底下的未來科技館. https://tinyurl.com/mr7umhef. 技術簡介. 現有的電漿EUV光源功率有限，加上污染嚴重，是邁向3奈米的主要障礙。加速器光源因為完全潔淨 ，光源功率透過自由電子雷射機制可大幅
(還有1255個字)
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