Re: [新聞] 陸企DUV微影設備投產

看板Gossiping作者longyin (龍吟很難嗎？為什麼)時間3天前 (2026/07/28 07:41)推噓7(7推 0噓 15→)

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※ 引述《l26921216 (很悠閒的生活～～)》之銘言： : 陸企DUV微影設備投產 : https://udn.com/news/story/7333/9654508 : 2026-07-28 01:10 經濟日報／編譯陳律安／綜合外電 : 科技媒體The Information引述兩位知情人士報導，一家由中國大陸政府支持的企業，已 : 啟動生產深紫外光（DUV）微影設備，若成功大量生產，可能影響微影設備大廠艾司摩爾 : （ASML）的產品需求，拖累ASML盤中挫跌6%。消息人士透露，這家總部位於上海的企業， : 已從其他陸企延攬深紫外光人才，包括一家政府支持的晶片設備製造新創上海宇量昇科技 : 。其實浸沒式DUV的驗證機通過大陸幾大晶圓廠驗證的消息去年就傳出來了，今年或明年肯定能逐步開始量產。但是大陸的duv研發企業有三家，是哪一家或兩家，還是三家的duv通過驗證，目前還不清楚。而且ASML的DUV也有很多種，從1900系列到2000細節，有七八種高中低端產品，大陸初始的duv可能也就1900系列的能力，還需要花幾年時間，根據晶圓廠的使用反饋不斷改進，才能生產出更好的duv，預估怎麼也要三五年時間。現在美國關注的是EUV，路透社去年就從大陸這邊搞到消息，說首台EUV的工程樣機已經組裝好了。所以這幾個月美國政府在拼命的懷疑是荷蘭ASML違反美國政府禁令出賣了技術資料，本月上升到美國的部長級高官質疑荷蘭，當然荷蘭政府和ASML堅決否認。當然，工程樣機，到技術完善的成品機還有很多工作要做，還有企業內部的開發和測試，以及進晶圓廠進行技術驗證等很多工作，當年ASMl這一過程花了5年多時間，經過了數個版本迭代，才生產出具備實用能力的量產機。 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 103.77.192.218 (香港) ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Gossiping/M.1785195675.A.F85.html ※ 編輯: longyin (103.77.192.218 香港), 07/28/2026 07:43:32

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s820912gmail

07/28 07:42, 3天前 , 1^F

07/28 07:42, 1^F

推

strikecbu

07/28 07:43, 3天前 , 2^F

07/28 07:43, 2^F

根據各方面消息看，大陸的DUV應該是已經完成了0-1的過程，正在1-10的過程，後續還有10-100的過程。而EUV還處於0-1的過程。工程樣機距離可量產的實用機型還有距離。 ※ 編輯: longyin (103.77.192.218 香港), 07/28/2026 07:45:17

推

yoshiringo

07/28 07:45, 3天前 , 3^F