Re: [新聞] 陸自製 EUV 預定第3季試產
※ 引述《googolplex (googolplex)》之銘言:
: 陸自製 EUV 預定第3季試產
: 經濟日報 編譯陳苓/綜合外電
: https://money.udn.com/money/story/5599/8601538
: 消息人士透露,中國大陸研發出自家的極紫外光(EUV)微影設備,採用與荷蘭半導體
設
: 備製造巨擘艾司摩爾(ASML)不同的技術,設計更簡單、更有效率,預定今年第3季試
產
: ,明年量產。倘若消息為真,意味中國在突破美國科技管制上,邁出大步。
: 科技媒體wccftech報導,據@zephyr_z9和@Ma_WuKong在X平台的發文,華為正在廣東東
莞
: 工廠測試新設備,這款客製化EUV機台,採用「雷射誘導放電電漿」(LDP) 技術,預
計
: 今年第3季試產,並可能在明年實際放量生產。
去年我在本版講過這件事
大陸在2019年華為被制裁後,就將EUV的
研發列入了國家督導的計劃,而且未採用
傳統的研究所和大學研發的模式,改為了
完全商業的企業研發為主導的模式。為了讓
計劃成功率更高,採取了賽馬模式,即讓
多家企業同時去做,多個技術路線同時去
開發,大家激烈競爭,勝者活,失敗者只能
被市場淘汰。
EUV的研發單位有多家企業,每個子系統
都有多個企業研發,而且各種可能的技術
路線都在走,ASML的LPP方案也有研究。
從2019年到現在已經快6年了,有點初步的
成果很正常,這期間所有企業的進度幾乎
都是高度保密,就是擔心研發的企業被
制裁影響。
EUV的研發有原理樣機,工程樣機和量產機
三個階段,目前每家單位處於什麼階段並不
清楚。
另外即使EUV做出來了,半導體晶圓廠也要
會用,使用EUV的晶圓生產工藝也很複雜,
要長期的測試試驗,也不是一蹴而就的。
我猜為了提高進度,EUV原理樣機做出來後
,就會拿一台給晶圓產線去研發工藝。EUV
不斷改進,半導體工藝也不斷改進。
而且大陸的晶圓廠有不少,從DRAM廠和邏
輯半導體廠都有EUV的需求,最起碼有三四
家企業需要用這個。
目前處於什麼階段其實並不清楚,真正到
能量產晶圓可能還有不短的距離。
不過只要做,總會成功。而且從0到1難,
但是從1到100並沒有那麼難。從無至有
的階段,Asml和台積電都不清楚自己的
路線是不是正確,是摸索的過程。
而現在,後來者是明確的知道EUV是肯定
可行的,技術路線是可以的,半導體工藝
是可以的,所以後來者的開發進度一定是
比先行者快的。
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