Re: [問題] 半導體製程中的feature size
※ 引述《gauss760220 (宅哥)》之銘言：
: 請問一下
: feature size是什麼意思?
: 我在半導體製程的書裡看到
: "在半導體工業裡，圖形尺寸(Feature Size)通常是以微米來計算的"
: 但不是很懂這是什麼意思...
: 請高手解惑
: 謝謝
Feature size中文的意思是〔特徵尺寸〕，多半用在記憶體上來描述元件的尺寸，
縮寫是 F。
ps.舉個例子，我們常說的90/65/45/32奈米製程，這些指的是
製程世代/節點(technology generation/node。)
對邏輯產品而言，指的是電路佈局上的閘極寬度(gate length)
對DRAM產品而言，指的是二分之一的pitch (spacing + width)
對Flash產品而言，指的是相鄰兩個浮動閘極(floating gate)的距離
而〔F〕，指的是（或小於）該製程世代的尺寸。
好比某個記憶體細胞(Memory Cell)的X、Y尺寸是0.64μm X 0.56μm，它相當於44F^2。
計算方式如下，對90nm製程而言(F = 90nm = 0.09μm)
44F^2 ＝ 44 x 0.09 x 0.09 = 0.64 * 0.56 μm^2
如果是65nm製程(若元件的尺寸不變，即X仍是0.64、Y仍是0.56)，那就是84F^2。
(一般而言，不會是0.64um與0.56um，而且也不會是84F^2)
(應該說要反推回去求XY的最小尺寸才對，畢竟65nm比90nm，尺寸要更小)
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