Re: [問題] LED製程機枱

看板Electronics作者ccitmdl (浩克~~HULK)時間15年前 (2011/03/02 08:29)推噓3(3推 0噓 10→)

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※ 引述《jfsu (水精靈)》之銘言： : ※ 引述《gamesame7711 (框框)》之銘言： : : 或許你的問題大家看不懂...所以一直沒人替你解答吧... : : 你的問題是想問說，LED需要哪些製程機器的意思嗎? : : 如果是的話，不針對封裝這個步驟來說... : : 金屬蒸鍍機(e-beam,thermal) : 這機台要看你的真空腔體(chamber)用多大，你可以自己google或百度一下這機台的廠商 : 有的約半個人高，有的有一個人高，長寬與是你雙手合抱的範圍內。恩~~雙手合抱的範圍內~~~這台E-GUN還蠻小台的我不清楚其他廠是怎麼樣，但是我們廠是沒有thermal : 當然囉，別忘了真空幫浦...XD， : : 磊晶機(MOCVD) : : 以及一台最重要的...但是我不曉得這機器叫什麼名字，這機器功能是沉積MQW 長MQW的就是MOCVD阿!!! : : 還有一些黃光設備跟熱處理設備 : : 大致上有這些 : MOCVD就非常大一台，約是半個汽車車身的長/寬，我的MOCVD就比車子還長寬度差不多，看來你的MOCVD也蠻小台的高度~我194公分我還勾不到頂 : MQW是量子井的簡稱嗎?如果是，那你說的應該是MBE(分子束磊晶)這台機械 LED廠都用MOCVD在長MQW啦~~~MBE太傷本了啦產出又少 : 黃光設備就是幾台旋轉塗佈機(上光阻與其他可以形成薄膜用的)或是超音波震洗器... : 簡單一點的大概像大同電鍋3~5人份的大小，最重要的"曝光機"還有stepper您沒講到 : 熱處理設備應該就是RTA(快速熱退火)，就長長的，約莫像是班用機槍M249大小可能是我少見多怪，ＲＴＡ我還沒見過長長的聽您的形容比較像是高溫爐管的說兩者有不小的差距！！ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 58.115.109.177

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ccitmdl

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推

gamesame7711

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gamesame7711

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