Re: [問題] SEM原理問題
二次電子：散射的電子成因包括彈性碰撞與非彈性碰撞，當入射電子與材料表面原子
作用時，會將表面的原子外圍軌道上面的電子打出來，被打出來的電子稱
為二次電子，這種碰撞稱為非彈性碰撞，非彈性碰撞只能有電荷的轉移並
不會傳遞能量，我們可經由二次電子的訊號來觀察樣品表面型態。
入射電子的能量大，造成的二次電子能量不一定大，因為入射能量大的話
，會滲透到材料的內部，當二次電子要從內部跑到外部一定會損失更多的
能量，因為會有碰撞效應，所以二次電子的能量會因碰撞而變小。
歐傑電子：當原子內層電子受到外來能量源的激發時（如電子束）而脫離原子時，此
時二次電子跳出去後，原子的外層電子將很快的遷隆至內層電子的空穴並
釋放能量，所被釋出的能量可能會以Ｘ型態釋出，或者此釋出的能量轉而
激發另一外層的電子，使其脫離原子，我們稱此被打出的電子為歐傑電子。
歐傑電子的產生必須要３個以上並且包含２個電子軌域的電子始能產生，
所以氫（Ｈ）及氦（Ｈe)二種元素是不會產生歐傑電子的。
可以將二次電子看為被直接撞擊出去的電子，而歐傑電子則是因為吸收了二次電子所
造成的能量所產生的！！
我們可利用偵測歐傑電子的能量來判斷材料表面的元素成分與含量。
而ＳＥＭ就是利用二次電子來成像，使放大倍率比光學顯微鏡大很多。
※ 引述《garyk (開學勒..)》之銘言：
: 想問一下
: 歐傑電子 二次電子
: 之間有什麼差別
: 各是什麼東西
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◆ From: 140.125.31.75
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05/21 01:04, , 1F
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