Re: [問題] 何謂全氟化物
※ 引述《amou1030 (苦惱阿~~~)》之銘言：
: PFC是啥的縮寫阿??
: PFC是一個碳接四個氟的意思嗎??
: PFCs是代表哪些東西呢??
: 先謝謝各位大大指教
可以自己查啊
現在網路這麼發達
我稍微查了一下有以下這些
Perfluorinated compounds (perfluorocompound) 全氟化物
Perfluorocarbons 全氟化碳 全氟碳化物
wikipedia是寫Perfluorocarbon
http://en.wikipedia.org/wiki/Perfluorocarbon
fluoro是氟的意思
per的意思應該是 過 全的意思
表示氫全都被取代掉
carbon是碳 compound是化合物
所以是碳氫化合物中的氫被氟取代
比如說甲烷CH4變成CF4
氨NH3變成NF3
若氫沒完全被取代掉的就是
HFCs, hydrofluorocarbons 氫氟碳化物
如CH4變成CHF3
http://tw.acesuppliers.com/ssttpro/tech/tech_1.asp?idxid=3764
這篇寫說:
全氟化物處理簡介
目前類似CF4,C2F6與NF3等全氟化物 (perfluorocompound) 被廣泛使用在半導體製程中,
例如乾蝕刻(dry etch)、化學氣相沈積(CVD，chemical vapor deposition)後的清腔
(cleaning)均使用到PFC氣體以及一些有毒氣體，譬如PH3、AsH3，而於CVD鍍膜
時，僅有大約10%之氣體被利用，剩餘之90%則以廢氣排出，這些全氟化合物由於在紅外光
區有很強的吸收，而且在大氣中長期停留，一般認為是造成全球溫室效應主要來源。表一
所示全氟化物之半衰期中，生命期以CF4化合物50,000年最長，NF3化合物生命期僅740年
，但是NF3是具一種具有危害性之氣體且GWP*(全球變暖潛變性)卻高達13,100，因此這些
廢氣必須再經過處理後才可排放至大氣中，避免造成全球溫室效。1998年Monterey 會議
中定義六種PFC化合物(CHF3、CF4、C2F6、C3F8、NF3、SF6)進行減量管制。
（*GWP,Global warming potential
http://en.wikipedia.org/wiki/Global_warming_potential
順便講一下
是衡量一個特定數量的多少溫室氣體預計全球變暖作出貢獻. 這是一個相對比較值,同樣數
量的二氧化碳其定義是1.
對照表
http://eigic.estc.tw/government/02全球暖化潛勢(GWP)表.pdf
）
我知道有點難懂
我也是今天查了才知道是用在半導體產業上（汗）
有錯的或是補充都歡迎～
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※ 編輯: cd81 來自: 140.112.231.190 (03/10 00:15)
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