Fw: [問題] 吃photopolymer的蝕刻劑

看板ChemEng作者 (littleau)時間10年前 (2013/11/03 10:30), 編輯推噓0(0推 0噓 0→)
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※ [本文轉錄自 NEMS 看板 #1ITR9Mtk ] 作者: littleau (littleau) 看板: NEMS 標題: [問題] 吃photopolymer的蝕刻劑 時間: Sun Nov 3 10:17:55 2013 請問一下哪種蝕刻可以吃掉感光樹脂 我的結構如下: --------------- mask photopolymer(感光樹脂) PET or 矽晶圓 --------------- 想對感光樹脂作蝕刻 但找了很多論文都找不到蝕刻劑如何備製 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 124.218.10.134
推
11/03 10:20, , 1F
蝕刻劑? RIE硬吃?
11/03 10:20, 1F
→
11/03 10:26, , 2F
用溼式的方是吃掉感光樹脂，想看感光樹脂蝕刻後的ＳＥＭ
11/03 10:26, 2F
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ※ 轉錄者: littleau (124.218.10.134), 時間: 11/03/2013 10:30:56
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