[問題] 吃photopolymer的蝕刻劑

看板NEMS作者 (littleau)時間10年前 (2013/11/03 10:17), 編輯推噓1(1推 0噓 1→)
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請問一下哪種蝕刻可以吃掉感光樹脂 我的結構如下: --------------- mask photopolymer(感光樹脂) PET or 矽晶圓 --------------- 想對感光樹脂作蝕刻 但找了很多論文都找不到蝕刻劑如何備製 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 124.218.10.134
推
11/03 10:20, , 1F
蝕刻劑? RIE硬吃?
11/03 10:20, 1F
→
11/03 10:26, , 2F
用溼式的方是吃掉感光樹脂，想看感光樹脂蝕刻後的ＳＥＭ
11/03 10:26, 2F
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