Re: [材料] 請問sem掃描式電子顯微鏡相關問題??
※ 引述《cpuos (D.O.A life.)》之銘言：
: ※ 引述《FEIASK (FEI)》之銘言：
: : 如題 今天去拍了場發射電子顯微鏡 有一些問題想要發問
: : 1. 想請問sem有個附件桶子 是要加液態氮的
: : 請問那液態氮是要幹嘛用的? 那個好像是跟edx的偵測器連在一起的
: : 是要降低edx的偵測器溫度嗎?
: 液態氮桶是冷卻用在打EDX時X-ray Detector需要在極低溫度下始可操作
: ；另外二次散射電子會有多餘的熱!也可利用LN2冷卻
這個部分的回文是正確的
: : 2. 我看操作員在拍的時候 有調整probe current
: : 聽操作員說是電子束電流 請問這電流是跟燈絲電流有什麼關係?
: : 因為之前去拍熱游離的sem是直接把電流強度設定在第二個高峰
: : 這種的是直接調完燈絲電流後 就可以拍了 並沒有可以調整電子束電流
: : 是場發射這種sem才能調嗎?
: 電子束電流參數與影像品質相關 電子束電流越大，電子束直徑越大(試片易受損)
: ;反之則相反，但此參數仍需交互考量其他參數如: 加速電壓大小， 工作距離
: PS. 一般來說實驗室通常不會給人調電子束電流 (有點像原廠設定)隨使用時間多
: 電子束電流會變小，屆時再叫廠商來換修調整
這邊回文需要部分修正,
首先, 所謂的probe current並不是兩位所理解的"電子束電流"
你們認為的"電子束電流"是指一開始由電子槍所引出的電流, 我們稱為emission Current
而Probe current則是emission current穿過電磁透鏡以及物鏡光圈之後的電流
調整Probe current等同是調整穿過的電子束流通量,
Probe current提高: 電磁透鏡聚焦能力降低, 影像解析度降低
而電子通量提高 (即輻照到樣品表面的電子數量增加)
Probe current降低: 電磁透鏡聚焦能力提高, 影像解析度提升
而電子通量降低 (即輻照到樣品表面的電子數量減少)
所以場發射電子顯微鏡要做其餘分析(EDS or EBSD之類), 都需要提升probe current
來獲取較高的電子通量打在樣品表面, 而使得分析的回饋訊號能夠提升
而熱燈絲式的SEM一樣有probe current, 但是他的名稱就更具體了, 叫做"Spot Size"
所以你直接可以從名稱知道它的物理意義, 也就是打到樣品表面的電子束的"Spot"大小
: : 3. 我看操作員把燈絲電流設定在10uA
: : 是有沒有那麼精準 我問他能不能再把燈絲電流加上去 他說不行耶
: 主要原因是燈絲電流達一閥值(可操作點)時，電子束電流將不會再上升
: 加大燈絲電流只會 做多做熱功 減少燈絲壽命，一般來說此參數值隨機台設定而定
: 另一種說法與２.交互應證即:當電子束電流隨使用時間變小時，也可適當調整燈絲
: 電流，使照片影相品質不受長時間使用影響
: : 奇怪了 因此想上來問問看
: : 以上幾個問題 麻煩大家多指教 我是這方面的外行人 拜託打大家指導了 感謝!
這個部分的回應是正確的, 每一種不同的燈絲有不同的操作點
10uA的電流量是絕對精準的, 看這個電流量大小我推測這一台應該是冷場發射式的SEM
因為這種type的SEM的引出電流(emission current)是由外加高偏壓於極細的探針上
所引出的電流, 其大小可由外加偏壓精確控制
一般熱燈絲或熱場發射的SEM大多操作emission current在50~80uA之間,
電流量大適合做特性分析, 但解析度會稍差,
解析度最好則是in-column式低working distance (WD<5mm)的冷場發射SEM
希望以上資訊對你有幫助!
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※ 編輯: mrjoker 來自: 140.96.45.151 (03/14 18:40)
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