[問題] 增加基材表面親水性

看板ChemEng作者 (席恩)時間16年前 (2010/05/13 18:00), 編輯推噓7(7推 0噓 5→)
留言12則, 7人參與, 最新討論串1/1
想請問大家 當基材為 1 石英玻璃 2 矽基板 要怎樣做清潔 然後還要做增加親水性處理呢 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 203.64.98.109
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05/13 18:10, , 1F
增加親水性可用氧電漿處理
05/13 18:10, 1F
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05/13 19:39, , 2F
酸洗 硫酸+硝酸 比例可以看文獻 例如 3:1
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推
05/13 21:37, , 3F
piranha solution 硫酸+雙氧水 7:3 約100度煮一個小時
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05/13 21:38, , 4F
乾淨的矽晶片就超親水了 接觸角接近零度
05/13 21:38, 4F
推
05/13 22:12, , 5F
HF沖一下
05/13 22:12, 5F
推
05/15 12:36, , 6F
乾淨的矽基板會超親水？我每次用HF去氧化後，都是超疏水耶!?
05/15 12:36, 6F
推
05/16 11:58, , 7F
wafer表面有一層SiO2 SiO2超親水 HF洗完剩Si 接觸角~70度
05/16 11:58, 7F
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05/16 11:59, , 8F
所以piranha也不能洗太久 一個小時就差不多了
05/16 11:59, 8F
推
05/16 22:18, , 9F
乾淨的矽基板為疏水 因為Si為單鍵之飽和鍵結
05/16 22:18, 9F
推
05/16 23:14, , 10F
正常wafer表面都會有一層氧化 把表面髒污洗去就親水
05/16 23:14, 10F
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05/16 23:15, , 11F
玻璃也是用piranha洗 洗完親水性也很高 表面形成水膜
05/16 23:15, 11F
推
05/28 21:38, , 12F
用氮氣電漿也很有效!!!
05/28 21:38, 12F
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