[請益] 石英振盪器量膜厚

看板ChemEng作者coyoyo (yoyo)時間16年前 (2009/12/07 19:36)推噓1(1推 0噓 4→)

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最近使用蒸鍍機台裡面有裝了石英振盪片用來量測膜厚的我想了解石英振盪片測膜厚的原理因為想做一份這方面的報告不過查到的資料都很簡短的只說到振盪頻率和鍍上去的厚度有關或是說振盪頻率會符合某某公式(給了一個公式) 我想知道的是這些公式怎麼來的不知我該如何得到這方面的訊息網路上也找了圖書館也去找了真的沒辦法了來這裡請求各位大大囉是否在某本書上有看過或哪個網頁有介紹 http://www.ic160.com/bbs/info/20071122220849.htm 這是我找到算比較詳細的不過最初的公式怎麼來我真的想不出來@@ 絕對不是要把功課丟給大家只是希望能在這獲得一點點這方面的資訊如果大大們有這方面的一點點訊息希望能提供給我知道囉萬分感謝^^ -- ※ 編輯: coyoyo 來自: 140.117.32.119 (12/07 19:37)

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wanttu

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coyoyo

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