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作者 knoben 在 PTT [ NEMS ] 看板的留言(推文), 共6則
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[實驗] 金屬蝕刻的反應類型 (Mo鉬金屬)
[ NEMS ]0 留言, 推噓總分: 0
作者: Zoma - 發表於 2011/03/17 19:51(14年前)
1Fknoben:你可以去NEMS版問...03/17 12:41
Re: [問題] RIE 蝕刻
[ NEMS ]1 留言, 推噓總分: +1
作者: SkyLark2001 - 發表於 2010/12/01 07:15(15年前)
1Fknoben:謝謝您的建議 金保護我試過了 沒問題 之後就是試除水12/04 03:06
Re: [問題] RIE 蝕刻
[ NEMS ]3 留言, 推噓總分: +2
作者: SkyLark2001 - 發表於 2010/11/29 20:52(15年前)
2Fknoben:不知道一般都是怎麼dehydration? 把wafer拿到hotplate上烤12/01 05:37
3Fknoben:嗎? 還是有別的辦法呢? 謝謝12/01 05:38
Re: [問題] RIE 蝕刻
[ NEMS ]5 留言, 推噓總分: +3
作者: knoben - 發表於 2010/11/25 14:11(15年前)
5Fknoben:謝謝樓上大家的回答11/29 13:38
[問題] RIE 蝕刻
[ NEMS ]2 留言, 推噓總分: 0
作者: knoben - 發表於 2010/11/23 12:02(15年前)
2Fknoben:謝謝基隆大的建議 我先試試在玻璃上度Cr看有沒有什麼不同11/24 07:42
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