[問題] lithography 微影的說明

看板comm_and_RF作者 (空谷殘聲)時間12年前 (2011/12/15 21:33), 編輯推噓1(1推 0噓 9→)
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半導體製程看到這句有點無法理解 The process used to transfer a pattern to a layer on the chip is called lithography. lithography為什麼會跟transfer有關係呢 微影不是先塗photoresist(光阻劑) 然後透過UV光打在mask(光罩)上去處理晶體上的photoresist嗎 大概知道那句話是說 定型晶片上的一層的過程叫做微影製程 但是無法理解transfer的意思 不知道有沒有人能夠解答一下呢 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.118.230.172
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pattern 是圖樣的意思
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所以他要說的是把你設計的圖樣顯現在晶
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片中的其中一層
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那transfer呢 有點不懂這個
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就是把圖案"轉換"至晶圓上的意思
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你原本在電腦中設計的圖樣要呈現在晶圓
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推
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簡單的來說..你把光罩上的圖案"轉移"
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到你的樣品上
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原來要翻成轉移 了解微影的製程
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但卻不知道要怎翻譯這段 感謝大家
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