[問題] 如何分辨MIS中的的缺陷型態
MIS的結構中氧化層的缺陷型態共有4種
1.fixed oxide charge
2.mobile charge
3.interface trapped charge
4.oxide trapped charge
找了小施敏的書並沒有發現說要怎麼去分辨出來
找了一些論文也沒有說要怎麼分辨
大多都只是介紹這4種的形成原因跟影響
不知道版上有哪位前輩知道這4種缺陷要怎麼去分辨出來呢
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