討論串[請益] 蝕刻很傷身嗎
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推噓5(6推 1噓 12→)留言19則,0人參與, 最新作者yingjeou (英九)時間9年前 (2015/04/07 23:50), 9年前編輯資訊
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蝕刻的確傷身,不過恭喜你可以檢舉. 那一家廠Exhaust一定開太低. 另外有可能偷排廢氣,所以調低Exhaust值. 另外請不要誤導別人,一滴的HF不會死人的. HF很毒,不過他的毒是啃骨頭(摸到請塗葡萄糖鈣謝謝. 而且剛摸到沒什麼感覺,要一陣子才有感覺....... 還有量大到一定程度心臟才會停
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推噓2(2推 0噓 2→)留言4則,0人參與, 最新作者shybaman (國王頭)時間9年前 (2015/04/08 08:40), 編輯資訊
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調 Exhaust 加強,只有對濕蝕刻有用,乾蝕刻是用毒氣在蝕刻的,Exhaust 只會裝在. 外圍,若Gas管外有漏氣可以抽有用而已,又不會接到機台Chamber內,Chamber內壓力. 到達10的-7次方,不可能裝 Exhaust,而且重視良率問題、減少 Defect,更是不可能. 接 Exh
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推噓9(9推 0噓 17→)留言26則,0人參與, 最新作者louiswoman (匈奴夫人)時間9年前 (2015/04/08 22:49), 編輯資訊
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HF是強酸 這一定是有什麼誤會. 高中學化學大家都有背過酸性強弱的順序. HClO4 > HI > HBr > HCl > HNO3 > H2SO4 > H3O+ > H2C2O4 > H2SO3 >HSO4-> H3PO4 >HF > HNO2 > CH3COOH > H2CO3 >H2S > N
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推噓4(6推 2噓 7→)留言15則,0人參與, 最新作者orfan (受颶風祝福的孩子~)時間9年前 (2015/04/09 19:35), 編輯資訊
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溼蝕刻會碰到的. 你講的那種是不是墨綠色的? 應該是HF沒錯. 聽說還有一種是氯化銅... 但我只碰過氯化鐵的. 你走是對的 因即使平常這些東西都在機器裡你碰不到. 機台卡板要拆時你也會碰到的. 在你還沒小心不要碰到前溶液前就會先吸到一口那恐怖的氯氣味. 個人認為這才是最殤身的恐怖東西.... 而且
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