[新聞] 陸傳EUV光刻技術獲重大突破　前ASML科學家林楠主導

看板Tech_Job作者 (勤樸)時間8月前 (2025/05/02 21:51), 8月前編輯推噓11(20推 9噓 83→)
留言112則, 38人參與, 8月前最新討論串1/1
作者: noposo (尼波) 看板: Gossiping 標題: [新聞] 陸傳EUV光刻技術獲重大突破　前ASML科學 時間: Fri May 2 10:52:12 2025 備註請放最後面 違者新聞文章刪除 1.媒體來源: ETtoday 2.記者署名: 魏有德 3.完整新聞標題: 陸傳EUV光刻技術獲重大突破　前ASML科學家林楠主導 4.完整新聞內文: https://cdn2.ettoday.net/images/8198/8198054.jpg
大陸中科院上海光學精密機械研究所近日傳出前ASML首席科學家林楠率領研究團隊，繞過 二氧化碳激光（雷射光，下同），使用固體激光器技術，成功開發出LPP-EUV光源，已達 國際領先水準，對大陸國產芯片（晶片，下同）及自主研發EUV光刻機具重大意義和突破 。 林楠團隊的研究成果發表於《中國激光》期刊雜誌第6期（2025年3月下），該團隊研究人 員估計，光源實驗平台的理論最大轉換效率可能接近6%，團隊正計劃增加進一步的研究， 未來有望進一步實現國產EUV光刻技術。 公開資訊顯示，EUV光刻機中最核心的分系統是激光等離子體（LPP）EUV光源，其中，二 氧化碳激光器激發的Sn等離子體 CE大於5%，是ASML光刻機的驅動光源，這類光源技術由 美國Cymer製造，屬於全球壟斷地位。 在光刻機關鍵技術「卡脖子」的情況下，林楠團隊考慮使用固體脈衝激光器代替二氧化碳 激光作為驅動光源，但能量效率仍需進一步提升。現階段研究成果顯示，林楠團隊1um固 體激光的CE最高可達3.42%，超過荷蘭和瑞士研究團隊的水平，雖仍未超過4%，但已達到 商用光源5.5%轉化效率的一半。 至於該研究團隊的領銜人物林楠擁有眾多身份，他是大陸中科院上海光機所研究員、博導 ，大陸國家海外高層次人才，超強激光科學與技術全國重點實驗室副主任，精密光學工程 部技術總師，中國儀器儀表學會集成電路分會委員，中國光學工程學會微納專委會委員， 曾任荷蘭ASML公司研發科學家、研發部光源技術負責人。 林楠主攻機體電路製造光刻光源以及芯片量檢測光源研發與工程應用研究，師從2023諾貝 爾物理學獎得主「Anne l'Huillier」。 截止目前為止，林楠申請及授權美、日、韓等國國際專利110餘項，多項專利已完成產品 轉化搭載在最新型光刻機及量檢測設備中。 5.完整新聞連結 (或短網址)不可用YAHOO、LINE、MSN等轉載媒體: https://www.ettoday.net/news/20250501/2952975.htm 6.備註: -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 111.255.48.71 (臺灣) ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Gossiping/M.1746154334.A.D69.html
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05/02 10:53, 8月前 , 1F
完了完了
05/02 10:53, 1F
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05/02 10:53, 8月前 , 2F
手刻業者準備失業
05/02 10:53, 2F
推
05/02 10:53, 8月前 , 3F
吹起來？
05/02 10:53, 3F
推
05/02 10:53, 8月前 , 4F
美國會說這項技術是我們的
05/02 10:53, 4F
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05/02 10:53, 8月前 , 5F
必須突破
05/02 10:53, 5F
推
05/02 10:53, 8月前 , 6F
ALSM 沒偷偷幫忙 我是不信啦
05/02 10:53, 6F
推
05/02 10:53, 8月前 , 7F
綠蟾蜍：一定是偷美國技術……
05/02 10:53, 7F
推
05/02 10:54, 8月前 , 8F
前員工…
05/02 10:54, 8F
推
05/02 10:55, 8月前 , 9F
這樣一來全世界只會更忌憚華人
05/02 10:55, 9F
推
05/02 10:55, 8月前 , 10F
遲早的事而已 13億人口美國怎封鎖的了
05/02 10:55, 10F
推
05/02 10:56, 8月前 , 11F
禁華為生鴻蒙，禁芯片生光刻
05/02 10:56, 11F
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05/02 10:57, 8月前 , 12F
踏媽只能綠處發明東西，不然會雞蛋華人
05/02 10:57, 12F
推
05/02 10:57, 8月前 , 13F
光刻機剛被禁的時候一堆人把光刻機吹上
05/02 10:57, 13F
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05/02 10:57, 8月前 , 14F
天,說什麼可能十年都做不出來==
05/02 10:57, 14F
推
05/02 10:57, 8月前 , 15F
原理都擺在那邊了。 只要有個幾兆都能做吧
05/02 10:57, 15F
推
05/02 10:58, 8月前 , 16F
這次是真 漢芯
05/02 10:58, 16F
噓
05/02 10:58, 8月前 , 17F
【【【台巴子傻鳥等著看吧!!!!!】】】
05/02 10:58, 17F
推
05/02 10:58, 8月前 , 18F
太棒了 中國又贏了
05/02 10:58, 18F
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05/02 10:58, 8月前 , 19F
台灣：蛤？潛艦國造？
05/02 10:58, 19F
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05/02 10:58, 8月前 , 20F
藍白粉高潮
05/02 10:58, 20F
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05/02 10:58, 8月前 , 21F
忌憚啥 你本來乖乖賣 他也不用自己研發的
05/02 10:58, 21F
推
05/02 10:58, 8月前 , 22F
ASML應該是被偷技術的那一邊吧 = = 慘
05/02 10:58, 22F
推
05/02 10:59, 8月前 , 23F
遙遙領先，每一次都，遙遙領先
05/02 10:59, 23F
推
05/02 10:59, 8月前 , 24F
別怕,青鳥說20年都追不上
05/02 10:59, 24F
推
05/02 10:59, 8月前 , 25F
支八板又高潮了，好像一副很與有榮焉
05/02 10:59, 25F
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05/02 10:59, 8月前 , 26F
的樣子。
05/02 10:59, 26F
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05/02 10:59, 8月前 , 27F
ASML當初配合禁令的時候就抱怨過了
05/02 10:59, 27F
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05/02 11:00, 8月前 , 28F
扯那麼多 還不是為了釣ASML賣機器
05/02 11:00, 28F
推
05/02 11:00, 8月前 , 29F
搭惹個不知可不可靠的灶台
05/02 11:00, 29F
推
05/02 11:00, 8月前 , 30F
祖國牛逼
05/02 11:00, 30F
推
05/02 11:00, 8月前 , 31F
好了啦 中又贏
05/02 11:00, 31F
推
05/02 11:01, 8月前 , 32F
慘了，青鳥又要抓狂了
05/02 11:01, 32F
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05/02 11:01, 8月前 , 33F
這種爛招都用多少次了還有人會被騙
05/02 11:01, 33F
推
05/02 11:01, 8月前 , 34F
對岸全世界都一堆人才 遲早做得出來
05/02 11:01, 34F
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05/02 11:01, 8月前 , 35F
還有菜單 原料 火候 裝盤 上桌
05/02 11:01, 35F
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05/02 11:01, 8月前 , 36F
美國：中國偷竊美國的未來技術！
05/02 11:01, 36F
推
05/02 11:01, 8月前 , 37F
越限制就真的逼中國突破而已，沒限制中
05/02 11:01, 37F
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05/02 11:01, 8月前 , 38F
國現在還在用A800
05/02 11:01, 38F
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05/02 11:02, 8月前 , 39F
早晚做出來 一定是中午休息
05/02 11:02, 39F
還有 239 則推文
還有 1 段內文
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05/03 13:29, 8月前 , 279F
能源政策錯誤，圖利某家族，基礎建
05/03 13:29, 279F
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05/03 13:29, 8月前 , 280F
設幾乎全部吃黨國時期的建設，更不
05/03 13:29, 280F
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05/03 13:29, 8月前 , 281F
用講產業格局跟規劃能力了，只會買
05/03 13:29, 281F
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05/03 13:29, 8月前 , 282F
網軍帶風向，然後基本上沒有理論基
05/03 13:29, 282F
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05/03 13:29, 8月前 , 283F
礎
05/03 13:29, 283F
噓
05/03 14:02, 8月前 , 284F
整天轉白癡新聞
05/03 14:02, 284F
推
05/03 16:37, 8月前 , 285F
推文就看到好幾隻青鳥
05/03 16:37, 285F
噓
05/03 16:56, 8月前 , 286F
笑死支那網軍高潮了嗎？中國好棒棒
05/03 16:56, 286F
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05/03 16:56, 8月前 , 287F
加油內
05/03 16:56, 287F
推
05/03 18:12, 8月前 , 288F
顆顆，這樣ASML會降價嗎XD
05/03 18:12, 288F
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05/03 18:12, 8月前 , 289F
說不定是GG利多呢
05/03 18:12, 289F
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05/03 18:51, 8月前 , 290F
砸錢 挖人 偷技術還叫做簡單嗎?
05/03 18:51, 290F
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05/03 18:52, 8月前 , 291F
是花了很大的成本和努力吧，成果如
05/03 18:52, 291F
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05/03 18:52, 8月前 , 292F
何不說有做有希望
05/03 18:52, 292F
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05/03 18:54, 8月前 , 293F
技術領先方還不是一樣砸錢、挖人、
05/03 18:54, 293F
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05/03 18:54, 8月前 , 294F
買技術，如果砸的錢夠多、挖的人夠
05/03 18:54, 294F
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05/03 18:55, 8月前 , 295F
強，技術還偷的，有什麼理由追不上?
05/03 18:55, 295F
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05/03 19:14, 8月前 , 296F
猜猜看多久之後入獄？
05/03 19:14, 296F
推
05/03 19:46, 8月前 , 297F
覺得還是做不出來
05/03 19:46, 297F
噓
05/03 20:09, 8月前 , 298F
是喔是喔，要突破幾次才生出一台EUV
05/03 20:09, 298F
→
05/03 20:09, 8月前 , 299F
？那時GG都不知道在做幾埃米了
05/03 20:09, 299F
推
05/03 22:29, 8月前 , 300F
好幾隻政黑id來洗地
05/03 22:29, 300F
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05/03 23:35, 8月前 , 301F
青鳥真的比井蛙還可憐，中國的進步
05/03 23:35, 301F
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05/03 23:35, 8月前 , 302F
完全當業障。
05/03 23:35, 302F
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05/04 02:43, 8月前 , 303F
這樣之前那偏爆料外國新聞很準耶...
05/04 02:43, 303F
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05/04 02:43, 8月前 , 304F
.還以為是假新聞
05/04 02:43, 304F
→
05/04 02:50, 8月前 , 305F
川普之後會不會直接禁售設備給亞洲
05/04 02:50, 305F
→
05/04 02:50, 8月前 , 306F
啊
05/04 02:50, 306F
→
05/04 08:33, 8月前 , 307F
重大突破而已做出來在吹吧
05/04 08:33, 307F
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05/04 08:37, 8月前 , 308F
這就是偷啊！ 而且還明目張膽的偷
05/04 08:37, 308F
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05/04 08:37, 8月前 , 309F
！ 不過中國人騙補助機會比較大啦
05/04 08:37, 309F
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05/04 14:33, 8月前 , 310F
天天突破但是量產何時永遠沒roadmap
05/04 14:33, 310F
推
05/05 08:00, 8月前 , 311F
偷啥，那美國還搶台積呢
05/05 08:00, 311F
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05/05 08:01, 8月前 , 312F
人才挖來挖去本來就很正常
05/05 08:01, 312F
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05/05 13:41, 8月前 , 313F
我也覺得遲早的事 大家都要皮繃緊
05/05 13:41, 313F
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05/05 13:41, 8月前 , 314F
一點
05/05 13:41, 314F
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05/08 19:11, 8月前 , 315F
還是沒做出來只是光源突破啊？吹過
05/08 19:11, 315F
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05/08 19:11, 8月前 , 316F
頭了
05/08 19:11, 316F
推
05/08 19:31, 8月前 , 317F
成果發表在IF2.48的期刊也一篇新聞
05/08 19:31, 317F
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05/08 19:31, 8月前 , 318F
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05/08 19:31, 318F
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