今天有去面試某“晶圓重生”的公司職缺,主管介紹他們是乾蝕刻,其中有用到HF氣體,
因為她說她機台有半自動,晶圓蝕刻完,腔體會purge 乾淨,用夾具把晶圓夾出,只要不
要亂摸蝕刻完晶圓片,就不會有腐蝕危險,因為她說不用穿防護裝(帶手套護目鏡就好)
,所以我問一下各位意見
謝謝
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 125.224.80.114 (臺灣)
※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1698133742.A.1EC.html
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可能會有
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如果腔體可以purge乾淨,不會洩漏,我是不怕,反正要戴手套夾晶片
※ 編輯: banana321 (125.224.80.114 臺灣), 10/24/2023 16:01:21
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請問要戴那種手套?乳膠?耐酸鹼手套?
※ 編輯: banana321 (125.224.80.114 臺灣), 10/24/2023 16:20:32
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因為我是有點懷疑,我知道HF的威力,會死人的,因為晶圓片上會有,那麼腔體就會有。
※ 編輯: banana321 (125.224.80.114 臺灣), 10/24/2023 16:49:04
※ 編輯: banana321 (125.224.80.114 臺灣), 10/24/2023 16:50:04
請問有手動夾晶片的?如果腔體是再chamber內,有防護,應該是ok的。
如果要開chamber,不用穿防護衣嗎?
※ 編輯: banana321 (125.224.80.114 臺灣), 10/24/2023 17:00:45
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他們目前手動機台,試製轉量產中
※ 編輯: banana321 (125.224.80.114 臺灣), 10/24/2023 17:30:34
因為蝕刻完晶片,還要夾出來,那不就是要開腔體嗎?這樣不是HF會跑出來,而且還要目
檢(我不知道目檢那關的晶片到底是否有洗過了)
※ 編輯: banana321 (125.224.80.114 臺灣), 10/24/2023 17:32:33
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他可能流程講的沒有很完整吧,不過如果有wet clean,那就沒有HF。
※ 編輯: banana321 (125.224.80.114 臺灣), 10/24/2023 18:03:43
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我不確定是自己夾嗎?因為他說要帶手套啊
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如果有進去工作,如果真的需要開腔體拿晶圓片,我在跟他們要mask。
※ 編輯: banana321 (125.224.80.114 臺灣), 10/24/2023 19:10:59
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噓
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不過他說他們HF用量非常少,一小罐用一年
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目前真的沒選擇,不過也要等收到錄取通知才能去
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dry etch, rebirth,這塊設備我沒有很熟,所以他說的我有點模糊
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