[新聞] ASML在台研發2奈米光學設備 台經部:補助最快5月拍板
https://www.epochtimes.com/b5/23/4/9/n13968932.htm
ASML在台研發2奈米光學設備 台經部:補助最快5月拍板
【大紀元2023年04月09日訊】(大紀元記者侯駿霖台灣台北報導)半導體設備大廠艾司摩
爾(ASML)持續擴大對台投資,近期針對2奈米晶圓光學量測設備的研發製造,向經濟部
申請A+企業研發補助案。對此,台經濟部表示,審查重點包含如何協助供應鏈技術升級及
國產自製率等兩面向,最快會在5月定案。
新北市長侯友宜曾透露,艾司摩爾增加在台投資,第一期投資金額高達新台幣300億元,
預計落腳林口、約2千名員工進駐;針對2奈米晶圓光學量測設備,艾司摩爾去年也向經濟
部申請研發補助計畫,一旦審查通過,預計政府會有低於五成的補助。
經濟部指出,台廠供應鏈目前已具備深紫外光(DUV)設備中的光罩傳輸模組製造能力,
這次艾司摩爾計畫案包含晶圓傳輸模組,盼能藉此導入本土供應鏈。
經濟部表示,受惠艾司摩爾DUV光罩傳輸模組搬來台灣製造,成為全球唯一製造基地,帶
動台廠帆宣、公準及神詠等供應鏈廠商成長。因此,這次審查聚焦重點,將落在如何提升
本土技術與國產自製率。
經濟部「A+企業創新研發淬鍊計畫」補助企業投入創新研發、前瞻產業技術開發,每年預
算約新台幣20億元,計畫吸引國際大廠來台研發生產;由於艾司摩爾申請案將進入第二階
段審查,經濟部預估在5月召開決審會議拍板,屆時補助金額將明朗化。◇
責任編輯:玉珍
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