[請益] 何謂 MEMS PIQ release

看板Tech_Job作者 (mark)時間3年前 (2021/06/25 15:30), 編輯推噓2(2推 0噓 9→)
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請問因為最近要做簡報，看到MEMS PIQ release，一直查不到這到底是什麼意思，我知道DRIE,但MEMS PIQ release不知道是什麼，中英文的全名叫什麼呢？算製程嗎？跟各位前輩請益，謝謝！ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 223.141.224.156 (臺灣) ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1624606206.A.CE8.html
推
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good
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TBH,IDK
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LMAO
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RTFD
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請拿去餵狗就知道了
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已幫你轉寄給HR,他們會編入下一版新人 survival kit
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推
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STFU
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通常MEMS都有一些空腔結構在製作過程中會用PIQ當作
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結構支撐但是你做完了要把PIQ吃掉只保留MEMS結構這
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個步驟就叫做PIQ release 通常用wet or dry etch
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06/25 16:41, 3年前 , 11F
謝謝h7705060大大！
06/25 16:41, 11F
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