[新聞] 林本堅發明浸潤式微影技術

看板Tech_Job作者hvariables (Speculative Male)時間3年前 (2021/04/12 12:29)推噓8(15推 7噓 2→)

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https://ec.ltn.com.tw/article/paper/1442561 林本堅發明浸潤式微影技術 2021/04/12 05:30 https://img.ltn.com.tw/Upload/business/page/800/2021/04/12/147.jpg

台積電前研發副總經理、現任清華大學講座教授林本堅。（記者洪友芳攝）記者洪友芳／特稿光學微影是半導體重要的關鍵技術，林本堅被稱為微影技術的先驅者，當前全球半導體高階製程所用的浸潤式微影技術，就來自他的發明；他也是中研院第一位產業界出身的院士。中研院首位產業界出身院士林本堅曾任職IBM研究中心長達二十二年時間，帶領團隊創造出許多領先全球的技術；從 IBM退休後，他在美國自行創業近十年，二○○○年在台積電前研發副總經理蔣尚義邀請下加入台積電；二○○二年間，他改以水為介質，研發出浸潤式微影取代乾式微影，讓台積電成功引領全球半導體業技術走向，得以推進製程至今。半導體業從四十奈米製程開始採用浸潤式技術量產，設備大廠艾司摩爾（ASML）也跟著轉向，全球業界跟進；從四十五奈米到目前量產的五奈米製程都是浸潤式技術，該技術已躍為全球半導體業量產技術主流，更讓台積電技術領先英特爾、三星，居全球半導體領導地位。林本堅獲獎無數，除了多次獲IBM頒發傑出發明獎、傑出貢獻獎外，更當選美國國家工程學院院士、國際電機電子工程師學會（IEEE）西澤潤一獎、Cledo Brunetti獎、工研院院士、潘文淵文教基金會研究傑出獎、IEEE會士及首位產業界的中研院院士：二○一八年底，有「中國諾貝爾獎」之稱的未來科學大獎，還頒給他高達一百萬美元的數學與電腦科學獎項，顯見他在業界的重要地位。林本堅二○一五年十一月自台積電退休，原規劃輕鬆過日子、專心傳教，沒想到清大找他去教書；他說現在好像跟當初來台灣一樣，有很多喜歡的事要做，時間不夠分配，除了教課外，還接任台積電與清大的聯合研發中心主任、負責主持產學大聯盟，加上每週打兩次網球、每月最後一週負責教會講道等；林本堅笑說：「退休後更忙碌。」 -- 佛沒說小乘、大乘。上座部佛教馬哈希尊者帝釋所問經講記77頁拆穿假佛法大乘的騙局。上座部佛教明昆《南傳菩薩道》是真釋迦牟尼佛的菩薩成佛之道大乘是假菩薩成佛之道妙法蓮華經、華嚴經、心經、金剛經、梵網經(菩薩戒)、圓覺經、楞嚴經是大乘假佛經。阿彌陀佛藥師佛大日如來是大乘假佛觀世音維摩詰龍樹地藏王是大乘假菩薩 https://www.ptt.cc/bbs/soul/M.1584460614.A.E88.html 上座部佛教目犍連子帝須和那先破偽經大乘十方諸佛 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 220.137.171.181 (臺灣) ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1618201768.A.887.html

噓

ijk1

04/12 12:31, 3年前 , 1^F

04/12 12:31, 1^F

推

pponywong

04/12 12:32, 3年前 , 2^F

04/12 12:32, 2^F

推

claymath

04/12 12:46, 3年前 , 3^F

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