[請益] PVD設備 濺鍍 材質限制

看板Tech_Job作者 (我愛可可)時間3年前 (2021/03/08 23:04), 編輯推噓-9(2推 11噓 13→)
留言26則, 15人參與, 3年前最新討論串1/1
請問 各位先進 我司有一台設備現在鍍膜成分主要是鍍氮化鈦或是氮化碳薄膜。 設備功能有弧靶、柱靶、中高頻電源供應器。 如將設備把靶材更換、氣氛更換，是否可以拿來鍍透明導電膜Al2O3、AZO、ITO之類的? 設備需要做什麼修改嗎? 設備工程師說這是不可能的??? 卻回答不出原因。 是否有設備商或是有經驗的相關先進，可以請益。 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 180.148.4.23 (越南) ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1615215874.A.F74.html
噓
03/09 00:04, 3年前 , 1F
1.問原廠 2.你應該是買了二手機，所以不敢問原廠。
03/09 00:04, 1F
噓
03/09 00:09, 3年前 , 2F
自己的功課自己做
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03/09 00:27, 3年前 , 3F
以小弟個人見解，要更改機台run 其他製程，並不是簡單
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更改靶材氣體等材料就可以達成這麼簡單，以PVD來說，能
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量（generator)、真空度（pump）、靶材純度（target）與
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氣體流量控制(MFC)、副產物的清除(scrubber),外加一些
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細項更改，不是這麼簡單可以全部都考慮到的，半導體設
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備之所以難就是因為他的複雜度，我們一般設備人員很難
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有全面的資訊以及料件去改機，所以樓上的才會說找原廠，
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除非貴司能承受改機失敗所浪費的時間與費用，如果要省費
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用起碼也要找second source的廠商去評估吧！
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噓
03/09 01:47, 3年前 , 12F
你不會把target裝上去試嗎？
03/09 01:47, 12F
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03/09 01:49, 3年前 , 13F
會怕還敢買機器自己retrofit
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噓
03/09 05:38, 3年前 , 14F
真的是該試一下看看效果，品質能接受不就可以了。
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噓
03/09 07:18, 3年前 , 15F
自己的專案自己做
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噓
03/09 08:43, 3年前 , 16F
你肯定沒念過研究所
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噓
03/09 08:44, 3年前 , 17F
自己不會試試看？
03/09 08:44, 17F
噓
03/09 09:14, 3年前 , 18F
大一生？
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03/09 12:04, 3年前 , 19F
484你公司老闆又在異想天開惹? QQ
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03/09 12:57, 3年前 , 20F
可以
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推
03/09 17:57, 3年前 , 21F
可以啦
03/09 17:57, 21F
推
03/09 18:00, 3年前 , 22F
看是反應式濺鍍還是icp的
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03/09 18:01, 3年前 , 23F
遲滯曲線抓一下
03/09 18:01, 23F
噓
03/09 20:30, 3年前 , 24F
花錢請vendor retrofit啊 用嘴巴問機台就自己會改好了嗎
03/09 20:30, 24F
噓
03/09 23:10, 3年前 , 25F
DC? RF?
03/09 23:10, 25F
噓
03/09 23:35, 3年前 , 26F
是在反串？！
03/09 23:35, 26F
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