[新聞] 挑戰摩爾定律極限 ASML開發1奈米製程曝光設備

看板Tech_Job作者 (上海極司非爾路76號)時間3年前 (2020/12/02 11:16), 編輯推噓4(737)
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挑戰摩爾定律極限 ASML開發1奈米製程曝光設備 2020/12/02 05:30 〔編譯盧永山/綜合報導〕 據日本Mynavi News網站報導,日前在東京落幕的二○二○年IMEC科技論壇,比利時半導體 研究機構IMEC正式公布與荷蘭半導體設備大廠艾斯摩爾( ASML)合作研發的新一代高解析 度EUV曝光技術( High NA EUV); 根據公布內容,ASML對三奈米、二奈米、一.五奈米、甚至小於一奈米製程,都做了清楚發 展規劃顯示ASML已能開發一奈米製程的曝光設備。 摩爾定律(Moore’s law)指的是積體電路上可容納電晶體數目,約每隔十八個月增加一倍 、性能也提升一倍,近幾年來因電晶體尺寸縮小速度趨緩,業界對摩爾定律是否已到盡頭爭 論不斷。 最快二○二二年商業化 IMEC執行長范登霍夫(Luc Van den Hove)透露,該機構與ASML共同開發High NA EUV已取 得突破,即使製程到達一奈米甚至更小,製程微縮化仍會繼續,摩爾定律並不會停下來; IMEC也在論壇上公布三奈米、二奈米、一.五奈米、甚至小於一奈米的邏輯元件製程微縮路 線圖。 晶圓代工大廠台積電和三星電子要投入二奈米以後的超精細製程,亟需高解析度及高曝光設 備;ASML已完成高NA EUV曝光設備的基本設計,型號為NXE5000系列商業化時間預定最快 在二○二二年左右,這套新一代曝光設備將因龐大的光學系統而變得非常巨大。 范登霍夫指出,邏輯元件製程微縮的目的在於降低功耗、提高效能、減少面積以及降低成本 ;隨著製程向三奈米、二奈米、一.五奈米、甚至到一奈米以下發展,他們將繼續開發微縮 製程技術,以滿足對未來先進科技應用的需求。 https://ec.ltn.com.tw/article/paper/1416411 心得: 根據先前晶圓大工大廠台積電和三星電子介紹,從 7 奈米製程技術開始,部分製程技術已 經推出了 NA=0.33 的 EUV 曝光設備, 5 奈米製程技術也達成了頻率的提升, 但對於 2 奈米以後的超精細製程技術,則還是需要能夠達成更高的辨識率和更高 NA (NA= 0.55) 的曝光設備。 事實上,過去一直與 IMEC 緊密合作開發半導體曝光技術,但為了開發使用高 NA EUV 曝光 設備,ASML 在 IMEC 的園區內成立了新的「IMEC-ASML 高 NA EUV 實驗室」,以達成共同 開發和開發使用高 NA EUV 曝光設備的相關技術。 而且,該公司還計劃與材料供應商合作,進一步進行光罩和光阻劑。 -- Sent from my iPhone 7 Plus PiTT // PHJCI -- 中國國民黨中央執行委員會特務委員會特工總部,為第二次世界大戰時期汪精衛政權奉日 軍令設置於上海市的特工總部,因其所在地為上海市滬西越界築路地段的極司非爾路76號 (今萬航渡路),又被稱為76號。鄰近上海日本憲兵隊。在76號內裡常刑囚拷打重慶 分子、抗日志士。 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 223.137.49.199 (臺灣) ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1606878997.A.A20.html

12/02 12:07, 3年前 , 1F
0.75奈米 0.5奈米 0.3 0.2 0.1炒起來
12/02 12:07, 1F

12/02 12:20, 3年前 , 2F
以後已經改用A為單位了
12/02 12:20, 2F

12/02 12:24, 3年前 , 3F
各地發電廠表示:
12/02 12:24, 3F

12/02 12:37, 3年前 , 4F
晶片省的電全在製程時預支光了
12/02 12:37, 4F

12/02 13:30, 3年前 , 5F
直接1埃了啦
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12/02 13:49, 3年前 , 6F
電遷移:...
12/02 13:49, 6F

12/02 15:14, 3年前 , 7F
一奈米等於十埃
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12/02 15:15, 3年前 , 8F
離一埃還很遠
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12/02 18:43, 3年前 , 9F
ASML 負責把曝光機做出來 剩下來的物理問題 t s m c自
12/02 18:43, 9F

12/02 18:43, 3年前 , 10F
己想辦法
12/02 18:43, 10F

12/02 21:47, 3年前 , 11F
原子就 0.25 nm左右而已 1nm米 才4列原子寬度 會有很多物
12/02 21:47, 11F

12/02 21:47, 3年前 , 12F
理限制
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12/02 21:49, 3年前 , 13F
而且線寬越小 電阻越大 越耗能
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12/02 23:08, 3年前 , 14F
要用埃做單位了
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12/03 01:10, 3年前 , 15F
等效的一奈米應該不會真的有特徵長度一奈米
12/03 01:10, 15F

12/03 01:21, 3年前 , 16F
等效有人看不懂?
12/03 01:21, 16F

12/04 01:55, 3年前 , 17F
對岸的NMSL大廠已經吹出0.5奈米了
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