[請益] Overlay control 書籍

看板Tech_Job作者 (rolems)時間7年前 (2018/09/02 01:00), 7年前編輯推噓4(4推 0噓 3→)
留言7則, 5人參與, 7年前最新討論串1/1
各位好~ 小弟有幸錄取國內公司黃光製程RD 但是該公司學習資源不多，加上大家都很忙碌 所以想說自學比較好 想特別針對Overlay control的領域 包含ASML LIS, W3F3 model 數學模型 Aberration 對 Overlay影響 目前我只找到這本書: Principles of Lithography, Third Edition 不知道大家有沒有推薦的書籍~ 英文書籍佳 謝謝大家~ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 150.117.26.141 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1535821228.A.93D.html
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09/02 01:05, 7年前 , 1F
錄取
09/02 01:05, 1F
※ 編輯: rolems (150.117.26.141), 09/02/2018 01:44:08
推
09/02 04:57, 7年前 , 2F
Burn寫的書
09/02 04:57, 2F
推
09/02 05:24, 7年前 , 3F
去amazon 找 Harry Levenson的書先了解基礎
09/02 05:24, 3F
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09/02 05:25, 7年前 , 4F
再來跟asml application要lens aberration AP KT
09/02 05:25, 4F
推
09/02 13:29, 7年前 , 5F
はじめての半導体リソグラフィ技術
09/02 13:29, 5F
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09/02 13:29, 7年前 , 6F
會日文的話，這本很推，岡崎信次寫的書，amazon有賣
09/02 13:29, 6F
推
09/02 17:23, 7年前 , 7F
推g大說的
09/02 17:23, 7F
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