[討論] 曝光機台?消失

看板Tech_Job作者時間6年前 (2017/10/26 22:01), 6年前編輯推噓33(33推 0噓 36→)
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事情是這樣的 小弟顧的機台 有幾台是TEL的光阻塗佈機 就我所知就是塗光阻用的 最近發現 黃光區那些ASML或Cannon的曝光機前面都有一台TEL的機台不知道是不是也是光阻塗佈? 我有看到其中一台上面寫著immersion 第一個想到的就是浸潤式微影 所以說曝光機前面那台 到底是幹嘛用的阿阿阿? 如果也是光阻塗佈機 那為何小弟的單位也有一群一樣的機台 不過卻不是直接和曝光機接在一起? 如果曝光機前面那台跟浸潤式微影沒關的話 那淨潤式微影是怎麼實現的呢~~? (小弟有上網查過惹 不過查不到甚麼資料 只好向各位大學長請教!! 其實問這些跟工作無關 只是很好奇> < -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 61.64.149.142 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1509026502.A.AAC.html ※ 編輯: mandibular (61.64.149.142), 10/26/2017 22:03:46
推
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那個叫track
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推
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黃光分track跟scanner，到EUV話再分個source(不過本來就有
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source，只是重要度大增)
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推
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offline coater
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推
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track>>develop
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都是塗佈機...曝光前也是要coating啊～有些只是上barc
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之類的～就不用接曝光機～
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immersion基本上是scanner的事 不過track也有些差異
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所以說前面那台track也是塗佈機 只是塗不同溶液?
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所以說光阻不只一層(? 然後剛剛查了一下Track 就我的理解那台是用來曝光後顯影還有光阻塗佈? 還有m大所說的EUV多一個Source又是做什麼用的阿~? 小弟工作的廠沒有EUV 連看都沒看過QQ ※ 編輯: mandibular (61.64.149.142), 10/26/2017 22:36:44
推
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十
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※ 編輯: mandibular (61.64.149.142), 10/26/2017 22:37:01
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Routing都是扣曝顯，就只是機台分in-line跟off-line吧
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（有沒有串起來這樣？）
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推
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你不是薄膜的嗎?
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推
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mark 8嗎~哈
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所以你顧的幾台都是offline coater
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scanner track Yieldstar
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可以上網查查EUV..就知道為什麼沒有
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推
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您可以觀察曝光機前的track是不是只有顯影功能
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推
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你們公司有EUV那真的猛
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推
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scanner本來就要有光源source，但附屬設備穩定問題不大
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但到EUV機台問題大量在source端，才把他拉出來一組team
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推
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你問的問題答案是in-line跟off-line的差異
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推
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這些問題抓一個附近的黃光製程問一下就知道了
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推
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請教tweens大 那inline 跟 offline coater 的差異是?
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推
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前面那台是自動販賣機啦，你按紅色那顆，會有驚喜
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推
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你顧的是offline coater 只做光阻塗布這塊 有接scanner
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的是inline 曝光後 track再做顯影 這樣throughput比較好
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不會因為coater module掛掉而整個被拖累 scanner成本
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很高的
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我也是黃光的
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我學長教我 前面那台的功能，就是想休息的時候
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按下紅色按鈕，就可以準備休息了
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推
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可以休蠻久的 不錯
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推
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PM schedule原則上都以scanner為主即可知 紅色最好按一
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整排泡水機der
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就是in line與 off line的差異
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推
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然後你可以問你學長比較快
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你的問題很基本。。。
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推
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產能的角度bottleneck 會是曝光機
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推
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如果是EUV樓上的答案是對的。如果是immersion答是錯的。
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inline和offline的差異，這個是基本要知道的部分，至於塗
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的是PR還是Barc或其他的，以及曝光的光源與機台形式，改快
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好好的去詢問部門學長學習，至於塗布方式與參數，那就要看
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製程設計初期在pilot run檢視狀況決定。
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Nikon表示存在感低
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Nikon 基本上已經死光了
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產能瓶頸通常是顯影才對喔，所以才配到3D or 4D
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另，Nikon 8吋機在二手市場近期很搶手喔，III-V 的應用。
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推
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如果還想知道什麼，可以來信；但是問學長是最快的方式無誤
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依效益的角度來說，曝光機要是瓶頸沒錯吧，曝光機卡貴
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，所以要把他塞好塞滿@@''
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Scanner塞好塞滿track delay 也沒用啊
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推
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拖到scanner的時間會被幹比較兇XD
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概念跟機台折舊有關吧，不管如何都會有瓶頸（消除瓶頸
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產能提升這我知道）。scanner 折舊成本假如一小時10
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塊，track 3塊，那你讓scanner idel 1小時就是浪費10
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塊，所以讓scanner idel，會被幹爆正常，我是這樣想
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啦....@@
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反正就是不管怎樣都有瓶頸，那選誰當瓶頸卡好的概念
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推
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你的問題是最基本的問題 加油吧！
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推
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你菜爆了...想知道就問學長吧
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基本上有接immersion的都是顯影機，沒接的都是塗佈機，
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但這只是我自己看到的，有沒有例外我不知道
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推
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大哥 黃光的製程稍微了解一下，對顧機台也是有好處
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的
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如果是proZ的後面還會接wisd, ACT的大概就不會接
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光源有Dry and immersion差別在於光源波長的不同 但使用
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的氣體相同 EUV的波長更短 能量更強 耗能是前兩個的好幾倍
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10/29 23:36, , 69F
機台體積也是好幾倍
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