[討論] FAB 中曝光機 (scanner) 的市佔率

看板Tech_Job作者 (FT-ICR)時間8年前 (2017/03/10 22:37), 8年前編輯推噓17(17推 0噓 10→)
留言27則, 18人參與, 最新討論串1/2 (看更多)
想請問在黃光區的先進問題 一說到曝光機台廠商，原本都只想到 ASML 尤其是在先進製程上，下一代 EUV 大概也得靠他們 不過最近好奇看 NIKON 193i 的機台，才發現性能和 ASML 差不多 以下是兩家最新的193i機台比較： ASML NXT:1980Di NIKON NSR-S631E NA 0.85-1.35 1.35 Resolution ≦38nm ≦38nm Field size 26*33 mm 26*33 mm Overlay (Single machine) ≦1.6 nm ≦1.7 nm (Matched machine) ≦2.5 nm ≦2.3 nm Throughput(96 shots) ≧275 WPH ≧270 (optional) WPH Ref: http://www.nikon.com/products/semi/lineup/pdf/NSR-S631E_e.pdf https://goo.gl/EhfIsL 請問在業界這兩台都有人在用嗎? 還是先進製程主要仍以 ASML 居多? (N家幾乎都日本半導體廠自用?) -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 140.112.55.27 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1489156625.A.A51.html ※ FTICR:轉錄至看板 Electronics 03/10 22:38
推
03/10 22:48, , 1F
看規格就曝的出來要一堆工程師幹嘛
03/10 22:48, 1F
確實也很好奇哪些部分是設備商負責哪些是FAB
推
03/10 22:54, , 2F
ASML居多吧,NIKON 應該是過去dry時代的產物
03/10 22:54, 2F
但這規格是先進製程的，也代表他們有能力做? https://goo.gl/0nzgfJ 這裡有講一些 Highlights，包含"for 7 nm node"
推
03/10 22:58, , 3F
NIKON還可以賺面板的曝光機 超貴的
03/10 22:58, 3F
曝面板用的應該超大台XD 但resolution應該不用很高?
推
03/10 23:02, , 4F
有人買Nikon就不會搞到Nikon要裁1000人了
03/10 23:02, 4F
好吧QQ
推
03/11 00:35, , 5F
twin scan & alignment吧
03/11 00:35, 5F
兩家的 Overlay 差不多，確實可能是 dual-stage design 有差
推
03/11 00:44, , 6F
谷歌新聞a家市占有九成，減一點也有七八成吧
03/11 00:44, 6F
了解，感謝
→
03/11 00:46, , 7F
193還會往下做浸潤式，還有有兩個Chuck,不知道n家的有
03/11 00:46, 7F
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03/11 00:46, , 8F
嗎？如果有，品質穩定嗎?
03/11 00:46, 8F
這就要問實際在用的工程師了... ※ 編輯: FTICR (219.70.186.32), 03/11/2017 01:10:25
推
03/11 02:04, , 9F
很多東西是spec沒法告訴你的，現在run45為了cost down是
03/11 02:04, 9F
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03/11 02:04, , 10F
可以考慮用，但是一般一直做的FAB現在折舊也差不多了，幹
03/11 02:04, 10F
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03/11 02:04, , 11F
嘛還要買這種來重新折舊，更何況還要做mixmatch,怎麼算
03/11 02:04, 11F
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03/11 02:04, , 12F
都不划算
03/11 02:04, 12F
推
03/11 05:33, , 13F
面板的市佔Nikon就真的很高 特別是10代以上的超大面板是獨占
03/11 05:33, 13F
推
03/11 08:19, , 14F
在日本半導體廠確實N社和C社的曝光機很多，因為便宜...
03/11 08:19, 14F
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03/11 08:19, , 15F
.
03/11 08:19, 15F
推
03/11 10:21, , 16F
A社強的還有軟體阿..GRIDMA/DOMA
03/11 10:21, 16F
推
03/11 10:31, , 17F
別說啦
03/11 10:31, 17F
推
03/11 12:02, , 18F
天后就一堆Nikon
03/11 12:02, 18F
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03/11 13:24, , 19F
在半導體先進製程曝光機方面ASML獨霸，其他都是撿屑屑吃
03/11 13:24, 19F
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03/11 14:09, , 20F
天后nikon都低階dry的
03/11 14:09, 20F
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03/11 17:44, , 21F
當你個版？還是當成台積版？
03/11 17:44, 21F
推
03/11 17:50, , 22F
Nikon immersion 機台便宜但可靠度不佳
03/11 17:50, 22F
推
03/11 18:20, , 23F
天后宮有n牌泡水機的喔。。。
03/11 18:20, 23F
推
03/12 14:12, , 24F
twin chuck WPH就電爆別家
03/12 14:12, 24F
推
03/13 16:09, , 25F
twin stages的throughput不見得比較強，個人覺得差是差
03/13 16:09, 25F
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03/13 16:09, , 26F
在asml的機差非常的小，還有鏡面不會霧化
03/13 16:09, 26F
推
03/14 01:55, , 27F
當年拉開差距，靠的就是twinstage
03/14 01:55, 27F
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