[請益] 請問關於plasama etch system的問題

看板Tech_Job作者ability0207 (豪)時間8年前 (2016/03/24 22:27)推噓1(1推 0噓 3→)

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1.同體積的He跟同體積的N2 價格差幾倍 2.plasama etch system中常使用的 backside He system中的He可否用N2取代是因為N2會跟Si反應嗎還有其他比較便宜的gas可以取代嗎有沒有經濟效益 cost down有沒有搞頭呀小弟無知異想天開請各位先進指教謝謝 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 106.1.232.229 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1458829645.A.A13.html

推

melzard

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melzard

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santorini

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