[請益] 關於蝕刻所用機台

看板Tech_Job作者 (我就想住米缸裡)時間10年前 (2015/06/21 22:13), 10年前編輯推噓17(17013)
留言30則, 19人參與, 最新討論串1/1
各位溫拿大家晚安 不曉這篇文章發在這是否洽當 如有違反版規我會再刪除!! 謝謝! 我上個月剛到新公司報到,主管前兩天丟給了我們一個題目 因為公司是在主要是做機台耗材,所以主管要我們回去做報告有什麼是現階段公司可推銷 的? 第一份是要我們針對etch常用的LAM,TEL去做一份40分鐘的簡報.....(2300KIYO之類) 這真的考倒我了, 一來我剛到一個月還在摸熟公司到底賣些什麼產品(主要是O-RING其他我還真的還不熟..) 二來我還在正在搞懂ETCH裡面細分的小製程,況且這兩廠牌會用到的耗材也不是上網就爬 的? (我只爬的到機台圖片= =) 希望有使用這兩廠牌的溫拿可以幫幫我,T___T 主要是希望我問你機台內的耗材你再告訴我是否有在使用...T___T (不需要透漏公司,我只是想搞懂那機台到底有什麼..) 有在新竹我可以請你喝杯飲料感謝你的救命之恩,畢竟我真的覺得好悲劇.. 謝謝大家 !!! -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 111.251.203.168 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1434896021.A.A22.html ※ 編輯: kay242433 (111.251.203.168), 06/21/2015 22:16:20

06/21 22:20, , 1F
拎刀A業務仔勒
06/21 22:20, 1F
拍謝 偶就是菜鳥業務

06/21 22:26, , 2F
公司沒基本資料可以看喔?
06/21 22:26, 2F
沒有 主管也說希望能利用這次做一個出來...

06/21 22:36, , 3F
Etch 就面板薄化啊
06/21 22:36, 3F

06/21 22:36, , 4F
我做了3年 網路上很多 你為什麼要來這發文
06/21 22:36, 4F
哥可以指點迷津嗎 我找了好久啥都沒有T_T 網路能讓我得知製程 但無法讓我得知用什麼 耗材啊T__T ※ 編輯: kay242433 (111.251.203.168), 06/21/2015 22:53:41 ※ 編輯: kay242433 (111.251.203.168), 06/21/2015 22:54:32

06/21 23:00, , 5F
這種機台很多要真空吧 etch的話o-ring應該用很兇
06/21 23:00, 5F
對呀 我需要的是其他的XD

06/21 23:00, , 6F
菜鳥業務就去問其他老鳥業務阿 主管派給你整合的工作
06/21 23:00, 6F
這是一份老菜鳥都必須做的報告XD

06/21 23:01, , 7F
你問其他老鳥可以問的理直氣壯吧
06/21 23:01, 7F
會啊 我會去問!只是想得到更多其他的

06/21 23:14, , 8F
我以為學生才會上網求救 做報告
06/21 23:14, 8F
哥別降嘛!我找不到相關希望有人給問啊! ※ 編輯: kay242433 (111.251.203.168), 06/21/2015 23:59:03

06/22 00:11, , 9F
是Kiyo 不是kyo 草雉京嗎...
06/22 00:11, 9F

06/22 00:13, , 10F
Kiyo o-ring 算不多 去看看oxide的吧
06/22 00:13, 10F
謝謝,kyo是前輩講的...囧 其實不只oring啦 希望能得知是否有其他耗材 例如anodize之類 ※ 編輯: kay242433 (111.251.203.168), 06/22/2015 00:23:16

06/22 01:06, , 11F
老鳥業務手上應該會有規格表吧...直接拿來研究比較實在
06/22 01:06, 11F
我今天去問問看orz....

06/22 06:48, , 12F
我們PM換的耗材...就oring和各式type的roller
06/22 06:48, 12F

06/22 06:51, , 13F
可是我們的etch機台不是真空的
06/22 06:51, 13F
恩恩!謝謝哥:) ※ 編輯: kay242433 (111.251.203.168), 06/22/2015 08:21:22

06/22 18:00, , 14F
如果是晶圓用的乾蝕刻,除了o-ring跟氣體,我還想不出
06/22 18:00, 14F

06/22 18:00, , 15F
有何耗材
06/22 18:00, 15F

06/22 18:03, , 16F
喔 對了,輸送晶圓片到chamber的的圓管型皮帶
06/22 18:03, 16F

06/22 20:24, , 17F
RF matcher 也算耗材啊QQ
06/22 20:24, 17F

06/22 20:25, , 18F
Chamber內parts送洗也算耗材啊
06/22 20:25, 18F

06/22 20:48, , 19F
ESC也是耗材?
06/22 20:48, 19F

06/22 20:50, , 20F
PARTS所接的地線?
06/22 20:50, 20F

06/22 20:56, , 21F
quartz,ceramic, PBI,pin,pad,belt,screw
06/22 20:56, 21F

06/22 22:37, , 22F
鐵氟龍cap... 唯一想到非o-ring的
06/22 22:37, 22F

06/22 22:50, , 23F
LAM Tool 沒皮帶吧? PM 用最多的耗材,O-ring 跟無塵布吧
06/22 22:50, 23F

06/22 22:52, , 24F
開玩笑的...O-ring 就有分動件跟非動件的,更換率也不同
06/22 22:52, 24F

06/22 23:46, , 25F
Lam tool有多少 沒全用過不要講沒皮帶
06/22 23:46, 25F

06/23 14:24, , 26F
都說 2300 KIYO 了, 需要全用過 LAM Tool ?
06/23 14:24, 26F

06/23 20:08, , 27F
lam有壓. ram harmonic assembly就有壓
06/23 20:08, 27F

06/23 20:08, , 28F
不過psc比較多吧跟spw吧
06/23 20:08, 28F

06/25 23:19, , 29F
做不下去離職,人也是耗材
06/25 23:19, 29F

06/26 18:50, , 30F
去拜訪宅宅工程師吧
06/26 18:50, 30F
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