[請益] 離子槍用於PVD設備

看板Tech_Job作者 (清水)時間11年前 (2014/12/13 00:13), 編輯推噓3(305)
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請教一下 小弟最近剛接觸科技產業 拜訪一家在做光學鏡頭的公司 說是採用PVD設備 再搭配離子槍輔助 在玻璃上沉積 那一般半導體製程在晶圓的薄膜沉積 也會用到PVD 裡面也有離子槍嗎?? 謝謝!! -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 1.175.178.3 ※ 文章網址: http://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1418400811.A.917.html

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沒有
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12/13 01:39, , 3F
離子槍好像也可以用在蒸鍍機?
12/13 01:39, 3F

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電漿<--- 濺鍍機
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12/13 16:29, , 5F
ion-Gun是助鍍用的,讓膜更結實,品質更好,不過要調參數
12/13 16:29, 5F

12/13 21:41, , 6F
所以半導體製程PVD有ion-Gun嗎?? 有大大私底下回信說有
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12/13 21:50, , 7F
公司在南科嗎?
12/13 21:50, 7F

12/16 12:59, , 8F
雷射蒸鍍
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